Occasion NOVELLUS Concept 2 Dual Speed #9259411 à vendre en France

Le réacteur NOVELLUS Concept 2 Dual Speed est un outil avancé de gravure ionique réactive (RIE) qui utilise deux niveaux de plasma pulsé distincts pour obtenir une vitesse de gravure plus élevée tout en conservant une sélectivité de gravure précise. Il est capable de réaliser des processus de gravure et de dépôt dans un même équipement. Cette combinaison de sources de plasma à double impulsion et de la technologie des chambres de gravure et de dépôt permet au Concept 2 de graver efficacement les couches diélectriques et métalliques avec un contrôle précis du procédé et des résultats supérieurs. Le Concept 2 est un outil RIE de qualité industrielle avec une double vitesse, double fréquence et double source de plasma haute densité pulsée. Cela permet la réactivité chimique, le contrôle des taux d'ions neutres, l'accord de puissance et la modulation des gaz de procédé. Ses sources de plasma à double pulsation peuvent générer des espèces à charge unique et à charge multiple, ce qui permet une gravure précise des diélectriques et des métaux. Le Concept 2 offre également un contrôle de processus flexible, avec des formes d'onde et des largeurs d'impulsions arbitraires. La technologie RIE du Concept 2 permet également la gravure de haute précision de divers matériaux dans un même système. Il a intégré du matériel pour contrôler efficacement l'uniformité de l'épaisseur du film, le lissage des gravures et le contrôle des profils de motifs. Le Concept 2 garantit également des taux de gravure reproductibles, dispose d'une gamme de chambres de procédés et utilise des réacteurs passivés pour prévenir la contamination. Cela nécessite le chargement de paramètres de recette pour assurer la répétabilité du processus de gravure. La technologie RIE du Concept 2 permet la gravure de divers matériaux en une seule unité pour une production à grande échelle. Il dispose d'une large fenêtre de processus, qui permet la gravure des couches diélectriques et métalliques avec un contrôle précis. Les capacités de chargement des plaquettes de course et de débit élevé de la machine le rendent idéal pour une production à haut volume. De plus, le Concept 2 est très efficace et économe en énergie, utilisant des refroidisseurs à cycle fermé pour réduire la consommation d'énergie des outils. Cela en fait un excellent choix pour tout processus de production.