Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259413 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), conçu pour le dépôt de couches spéciales de matériaux à couches minces sur des substrats de l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement est capable de déposer des vitesses de 80 à 160 nm/min, avec une taille de plaquette de 300 mm ou plus. Il est utilisé pour des applications telles que les barrières inter-métalliques, les interconnexions ultra-minces, et les applications de liner pour les métallisations de cuivre et de tungstène. Le réacteur utilise l'état de la technologie de SmartFlow™ d'art, qui permet le contrôle précis du taux de déposition et de l'uniformité de processus. Le module SmartFlow assure une grande uniformité sur toute la surface de la plaquette et permet de régler l'épaisseur du dépôt. Le système est également conçu avec une unité de refroidissement intégrée, permettant une optimisation précise de la température et la stabilisation du substrat lors du traitement. CONCEPT 2 Sequel Express dispose d'une double vanne de gaz programmable, offrant une gamme d'options pour personnaliser le débit et la composition. Ceci permet la formation de couches de matériaux complexes composées de plusieurs couches composites. La machine est également équipée d'une turbo-pompe basse pression, ainsi que d'une turbo-pompe moléculaire, permettant la manipulation des processus en maintenant l'intégrité du vide. L'outil est conçu avec une capacité de multiplexage avancée, qui permet le traitement simultané de plusieurs substrats. Cette technologie augmente le débit et permet des opérations par lots de plusieurs plaquettes. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express est un équipement fiable, offrant des procédés de dépôt très efficaces et cohérents pour l'industrie des semi-conducteurs. Ses fonctionnalités avancées fournissent aux utilisateurs les outils dont ils ont besoin pour créer des couches de matériaux de haute qualité avec un haut niveau d'uniformité de processus.