Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259415 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express est un réacteur conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil de procédé compact et monobloc avec une chambre autonome qui est capable de processus de dépôt thermique chimique en phase vapeur (CVD) incluant le silicium polycristallin à basse température, le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium, le tungstène, l'aluminium/cuivre, le diélectrique et d'autres procédés spécialisés. CONCEPT 2 Sequel Express est conçu pour une capacité de traitement optimale dans un environnement contrôlé, offrant un fonctionnement et une uniformité fiables ainsi qu'un débit de production élevé. Il est également optimisé pour les temps de cycle rapide, capable de courir jusqu'à 8 diamètres de plaquettes par minute. L'outil fonctionne avec une pression totale de chambre relativement faible, typiquement de l'ordre de 2 Torr, et est conçu avec un support de substrat entièrement céramique jetable, éliminant les problèmes de manutention et de nettoyage typiquement présents avec les supports de pulvérisateur à quartz traditionnels. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express offre une flexibilité supplémentaire en permettant de configurer facilement les modules avant et arrière. En termes de matériel, CONCEPT 2 Sequel Express utilise un mandrin électrostatique pour améliorer l'uniformité et le contrôle précis de la température des plaquettes. Ceci est complété par un équipement de contrôle de la température, de la position, du vide et du gaz de procédé. Les autres composants comprennent un système de pompage, une chambre de procédés, des systèmes de gaz de procédés, un récipient de procédés, une source de chaleur de procédés, des gaz d'échappement chauffés et des écluses de chargement. La conception avancée de la chambre CVD NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express est conçue pour optimiser les résultats des processus, réduire la contamination et maximiser le débit. Il est également conçu avec des caractéristiques qui améliorent la sécurité des procédés, y compris une unité de détection active pour les fuites de gaz de procédé et un boîtier à double isolation pour l'anode. CONCEPT 2 Sequel Express est une machine hautement configurable qui offre une excellente uniformité et cohérence ainsi qu'un traitement fiable et reproductible. Sa conception simple garantit un fonctionnement et une maintenance faciles, tandis que la possibilité de configurer des modules pour des tâches spécifiques offre une flexibilité pour diverses applications. Toutes ces fonctionnalités font de NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express un outil idéal pour le traitement CVD dans l'industrie des semi-conducteurs.