Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9362147 à vendre en France
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NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express est un réacteur innovant de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu spécifiquement pour la production de produits de circuits intégrés. CONCEPT 2 Sequel Express profite de certaines des dernières avancées dans la technologie de fabrication de semi-conducteurs pour offrir une plate-forme CVD rentable et haute performance pour le traitement de plaquettes de taille ultra-petite. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express dispose d'un support de substrat amovible avec une large gamme de mouvements « X-Y » qui permet d'échanger rapidement jusqu'à 10 plaquettes en moins de deux minutes. Ceci réduit le temps de manipulation du substrat et maintient l'intégrité du produit hautement volatil. Le support de substrat comporte des inserts amovibles qui permettent un alignement spécifique du substrat pour assurer une parfaite uniformité et adhérence du film. Le réacteur intègre également des logiciels intelligents permettant d'établir rapidement et facilement des conditions de traitement optimisées. CONCEPT 2 Sequel Express comprend un module de processus de haute puissance qui utilise une gamme de puissantes soupapes d'injection de gaz multi-canaux pour assurer un contrôle précis des rapports de gaz et des flux de gaz. Le module de procédé comprend également un séquenceur de processus contrôlé par ordinateur AVOTECMD NOXMD pour gérer le débit de gaz et injecter automatiquement des antiréactions si des résidus indésirables sont détectés. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express est équipé d'équipements de tour de chaleur pulsée (PHTS) et de systèmes de nettoyage in situ conçus pour assurer un processus de haute qualité. Le PHTS est conçu pour offrir une large gamme de températures avec une grande précision, ce qui permet un traitement amélioré. Le système comprend également une unité de refroidissement sur module qui peut contrôler avec précision la température de la plaquette pour un dépôt optimal de films de silicium polycristallin. CONCEPT 2 Sequel Express dispose également d'un certain nombre de dispositifs de sécurité améliorés conçus pour protéger le personnel et l'environnement. La machine comprend un dispositif à potentiel explosif à basse pression (EPD) breveté qui élimine efficacement le risque d'explosions dans la chambre en raison de l'accumulation de gaz dangereux. Un outil d'arrêt d'urgence entièrement automatisé est également inclus pour protéger le personnel en cas de panne catastrophique. Dans l'ensemble, le réacteur NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express est un puissant actif CVD qui est conçu pour fournir un processus de dépôt très fiable et rentable pour la production de wafers de très petite taille. Les fonctionnalités avancées du modèle et les logiciels intelligents permettent d'améliorer les performances et la sécurité, et vous aideront à maximiser la productivité de vos opérations de fabrication.
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