Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #171833 à vendre en France
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Vendu
ID: 171833
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
CVD with shrink process chamber, 8", 1999 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour le dépôt d'une gamme de couches fonctionnelles pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est spécialement conçu pour le dépôt en grand volume de multiples empilements de matériaux diélectriques, conducteurs et barrières dans une seule exposition de substrat. Le système est basé sur une chambre de réacteur basse pression en boucle fermée équipée de deux sources de gaz réglables indépendamment, qui délivrent un flux réactif au substrat. Une conception unique de réacteur à deux zones permet le dépôt séquentiel de deux ou plusieurs types de matériaux ou combinaisons ; l'unité règle automatiquement des paramètres tels que le profil de pression, la température, le débit de gaz, le débit et le dosage dans les différentes zones de dépôt. CONCEPT 2 Sequel peut traiter une grande variété de substrats, y compris le verre, le silicium, les matériaux organiques et inorganiques, ainsi que des matériaux non standard permettant une flexibilité sans précédent lors de la création de structures multicouches complexes intégrées avec des performances améliorées. La machine intègre un module propriétaire de dépôt diélectrique destiné à faciliter le dépôt « à feu rapide » à haute température de couches diélectriques avancées en une seule séquence pour des temps de débit accélérés. Pour un contrôle dimensionnel supérieur et des performances améliorées, des profils de couches avancés sont disponibles avec NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel. L'outil offre des fonctionnalités supplémentaires telles que la fréquence variable, la puissance variable et le contrôle de largeur d'impulsion variable pour personnaliser en profondeur les profils de dépôt. Le moteur Cycle-Time Optimization permet d'assurer l'automatisation des actifs et d'augmenter le débit avec un temps de processus minimal en gardant le suivi des cycles de dépôt et en produisant des paramètres de réaction rapide en conséquence. CONCEPT 2 Sequel est un équipement puissant et fiable pour la production d'une variété de microdispositions, écrans et autres dispositifs de semi-conducteurs innovants. Ce modèle fiable, avec son large éventail de fonctions polyvalentes, est un candidat idéal pour tout environnement de production, où la précision ultime et le contrôle des processus sont primordiaux.
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