Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9188213 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel est un réacteur de gravure haute performance utilisé dans la fabrication de puces semi-conductrices. Il est idéal pour augmenter le débit, améliorer l'uniformité, et des temps de cycle plus rapides sur le diélectrique, le silicium polycristallin, le tungstène, et les processus d'isolation des tranchées peu profondes (STI) gravure. Le Concept 2 dispose d'une configuration bi-pression, bi-gaz qui le rend extrêmement efficace. La pression de démarrage rapide plus élevée permet des durées de démarrage relativement courtes, tandis que la pression de travail plus basse assure un débit optimal de gaz et de particules, ce qui entraîne des coûts de traitement plus faibles. Le Concept 2 dispose également de deux générateurs RF contrôlés en fréquence qui permettent un contrôle plus fin du processus de gravure. L'équipement de balayage double LED à double micromachine assure un débit élevé avec des résultats de qualité supérieure, détectant même les plus petites variations de la taille des particules, de l'uniformité et des taux de pulvérisation. Le générateur hyperfréquence permet de chauffer instantanément la chambre à la température requise au démarrage et en fonctionnement. Combiné au système de distribution de gaz à haut rendement, cela garantit le plus haut débit de processus et une uniformité optimale. Le Concept 2 présente également une construction à plasma refroidi, à paroi froide, qui offre une solution de profilage thermique supérieure autour de la zone à graver. Cela réduit les gradients thermiques, favorise une meilleure conservation de l'énergie, réduit la contamination croisée et élimine les réflexions et les pénalités de cycle dues à l'inclinaison et au balayage mécaniques. En outre, le Concept 2 permet des fonctionnalités d'accès rapide qui simplifient l'entretien et les réparations. La plate-forme dispose d'un centre de diagnostic intégré qui permet aux opérateurs d'effectuer des changements et de suivre les ajustements effectués à l'unité tout au long du processus de fabrication. En outre, la machine de surveillance des processus en temps réel permet aux opérateurs de surveiller la qualité des gravures de plaquettes et les paramètres de processus. Dans l'ensemble, CONCEPT 2 Sequel est un réacteur idéal pour augmenter le rendement, le débit, l'uniformité et les économies de coûts dans la fabrication de puces semi-conductrices.