Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9399068 à vendre en France
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NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à haute température conçu pour le traitement des plaquettes. Conçu pour répondre aux besoins les plus exigeants de fabrication de semi-conducteurs, le réacteur CONCEPT 2 Sequel assure un contrôle supérieur et précis du dépôt de film dans une large gamme de températures de substrat. Le système utilise un socle de chauffage, permettant un contrôle fiable et précis de la température du substrat jusqu'à 1000 degrés Celsius. Il peut également être configuré pour des pressions de processus allant jusqu'à 1 Torr. Doté d'un design innovant multi-piston, NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel permet l'utilisation simultanée de matériaux métalliques ou organiques. Les gaz de procédé utilisés dans CONCEPT 2 Suite peuvent être soit distribués automatiquement, soit contrôlés manuellement, ce qui permet d'améliorer l'homogénéité et l'épaisseur du film. Sa conception en chambre ouverte fermée permet une installation facile dans les lignes de production existantes et un équilibre optimal de la température au sein du substrat. Il permet également de capter les effluents qui, autrement, pollueraient l'atmosphère. En plus de son contrôle supérieur de la température et de la pression, NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel dispose également d'une unité efficace de contrôle du débit de gaz. Cette machine surveille le débit de gaz à l'intérieur du réacteur et peut ajuster rapidement le niveau de pression et de température à l'intérieur du substrat. De plus, le réacteur est compatible avec les programmes du logiciel SMES (Semiconductor Manufacturing Execution Tool), permettant à l'utilisateur de suivre facilement les performances de l'actif. Construit avec la technologie NOVELLUS la plus récente, le réacteur CONCEPT 2 Sequel est très fiable et économe en énergie. Il présente également une variété de caractéristiques de sécurité qui protègent le modèle contre les matières dangereuses, la chaleur ou les perturbations de pression. Enfin, NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel est particulièrement facile à entretenir, ne nécessitant qu'un temps d'arrêt minime lorsque l'entretien est nécessaire.
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