Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM #9109574 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM
ID: 9109574
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
System, 8" Chamber SSD 2000 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM est un réacteur avancé multifonctionnel à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) qui fournit un niveau accru de vitesse, de débit et d'efficacité. Il est conçu pour des applications de matériaux à haute densité tels que le cuivre, le rhodium et l'aluminium, et comprend un certain nombre de caractéristiques pour assurer un contrôle précis des conditions de dépôt. Le réacteur utilise une conception porteuse unique, avec un distributeur de gaz à double vitesse, un étage de balayage linéaire, et un mécanisme de refroidissement liquide direct réglable pour assurer une uniformité de température supérieure. Le mécanisme de refroidissement liquide direct permet un refroidissement rapide du procédé et évite les dommages thermiques au substrat. CONCEPT 2 Speed DLCM possède également une couche semi-perméable d'arrêt du champ magnétique, qui limite l'entrée d'oxygène et d'autres gaz dans la zone de dépôt. Cette caractéristique permet un meilleur contrôle de la vitesse et de l'homogénéité des dépôts. Le Novello NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM dispose également d'un système de décharge de plasma hyperfréquence en deux étapes, qui permet un contrôle précis des paramètres d'ionisation et de dépôt. L'étape de balayage linéaire permet un balayage rapide et précis du gaz réactif et réduit à la fois le bruit en phase gazeuse et le mélange des gaz. CONCEPT 2 Speed DLCM est facile à utiliser et hautement programmable avec plusieurs fonctions pour un contrôle précis des dépôts. L'interface utilisateur est conçue pour être simple et intuitive, avec des commandes tactiles et de grands écrans LCD graphiques pour une surveillance facile des paramètres de dépôt. Les paramètres du processus, y compris le débit de gaz, la température, la pression et la fréquence hyperfréquence, peuvent être ajustés en temps réel, ce qui permet un haut niveau de contrôle des paramètres de dépôt. Enfin, NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM utilise des caractéristiques de sécurité avancées pour un fonctionnement sûr et cohérent. Il est conçu avec des circuits d'interception pour arrêter les réactions de processus si des conditions inattendues sont détectées. En outre, le réacteur utilise un système avancé de surveillance et de filtration des particules pour améliorer la sécurité et la qualité du processus de dépôt. Globalement, CONCEPT 2 Speed DLCM est un réacteur de dépôt haute performance conçu pour permettre le dépôt de matériaux haute densité avec vitesse et précision. Ce réacteur est idéal pour les ingénieurs de procédé, les chercheurs et les laboratoires universitaires, car il offre un excellent contrôle des paramètres de dépôt avec des caractéristiques de sécurité fiables.
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