Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel #172487 à vendre en France

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ID: 172487
Taille de la plaquette: 6", 8"
Altus deposition system, 6" and 8".
NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel fait partie des derniers ajouts à la gamme de réacteurs Concept 2 Speed de NOVELLUS. Il s'adresse au secteur avancé de la fabrication de semi-conducteurs, ce qui permet d'améliorer facilement et de façon rentable les capacités de traitement des plaquettes. CONCEPT 2 Speed Sequel est conçu pour fournir aux utilisateurs des débits plus élevés que l'architecture traditionnelle des outils monobloc, tout en offrant un contrôle supérieur et des performances de processus répétables même à des vitesses très élevées. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel s'appuie sur les capacités de l'outil d'origine Concept 2 Speed et fournit deux niveaux distincts de contrôle des processus. Cela comprend l'imagerie par couche haute résolution, la gestion en temps réel des chambres, et la surveillance serrée des processus pour un large éventail de processus de matériaux avancés. Le réacteur est construit sur l'architecture Concept 2 Speed, avec un CVD photo-assisté UV (PECVD) chambre de traitement et équipement de livraison de gaz. Il est capable de contrôler avec précision l'homogénéité de l'épaisseur du film sur la surface de la plaquette et fournit d'excellents rendements de production à des vitesses élevées. La conception unique de CONCEPT 2 Speed Sequel équipe le système d'une technologie efficace de blindage des gaz, offrant une excellente protection pour empêcher l'oxydation des parois latérales et le couplage plasma du procédé. Le réacteur dispose également d'une unité de commande avancée qui peut être facilement programmée pour compléter des processus complexes en plusieurs étapes avec le minimum d'effort. La machine de contrôle avancée peut être préréglée avec des paramètres définis par l'utilisateur et l'outil peut exécuter des recettes avec une précision, une répétabilité et des rendements exceptionnels. Pour plus de flexibilité, NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel dispose d'une capacité de surveillance et d'analyse in situ qui permet de surveiller l'environnement du réacteur et le processus des plaquettes en temps réel. Cela aide à assurer un processus cohérent entre les différentes plaquettes et à prévenir les variations de processus. En conclusion, CONCEPT 2 Speed Sequel est un réacteur efficace et fiable conçu pour répondre aux besoins de la production avancée de semi-conducteurs. Il est capable de fournir aux utilisateurs un haut niveau de flexibilité, de contrôle de processus et de répétabilité, ainsi que des débits améliorés et d'excellents rendements.
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