Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #293600182 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est un outil de gravure ionique réactive (RIE) horizontal et monobloc utilisé dans les industries de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil est conçu pour fournir un processus de gravure profonde fiable et hautement reproductible, avec une excellente qualité de gravure et un faible coût de possession. CONCEPT 2 Le réacteur de vitesse est une source robuste, 12 « x 24 », contenant deux capacités de chambre indépendantes et parallèles avec des contrôleurs de pieuvre dédiés. La source utilise le concept de gaz distincts par chambre, permettant un contrôle indépendant du débit, de la pression et de la composition des gaz de chaque chambre. Avec un débit maximal de 200 centimètres cubes standard par minute (SCCM) de gaz de traitement, NOVELLUS CONCEPT 2 Speed offre une large gamme de capacités de traitement. Ce réacteur contient un E-chuck pour améliorer la capacité de gravure humide, ainsi qu'un biais vertical de paroi latérale dynamique pour une meilleure uniformité du procédé. Il dispose d'une option de décapant de résistance pour accélérer le temps de processus, et fournit à la fois des capacités de gravure par plasma et par voie humide. CONCEPT 2 Speed utilise la compensation de température en boucle fermée PID qui est sélectionnable par l'utilisateur et réglable par chambre. Cela permet un suivi et un contrôle de la température plus précis. De plus, l'équipement NOVELLUS utilise le système de distribution Pulsed Power, qui maintient l'efficacité de chaque impulsion et contribue à maintenir l'uniformité des processus et la vitesse de gravure. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est conçu pour être une unité de gravure fiable et rentable, tout en maintenant un très haut niveau de contrôle des processus. D'autres caractéristiques de cette machine comprennent une fonctionnalité de recette aléatoire, où l'opérateur peut choisir d'exécuter n'importe quelle recette de son choix avec une configuration de chambre particulière, un outil de réduction de l'ozone (ORS) entièrement intégré pour réduire l'appauvrissement environnemental de l'ozone, et une fonction d'annulation de vol sous vide pour améliorer la productivité de nettoyage. Cet ensemble complet assure les meilleurs rendements et la meilleure qualité de gravure de ligne. CONCEPT 2 Speed profite également de diagnostics avancés et de systèmes de détection des pannes pour réduire le temps de maintenance et éviter les temps d'arrêt inutiles. Dans l'ensemble, NOVELLUS CONCEPT 2 Speed RIE est un outil fiable et efficace pour la gravure dans diverses industries. Ses fonctionnalités avancées offrent un contrôle efficace des processus et une productivité améliorée, ainsi que des performances fiables et rentables.