Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9093692 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed (C2S) est un réacteur à deux chambres à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu spécifiquement pour le dépôt de couches minces pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé pour déposer des métaux et des composés tels que le silicium, le tungstène et les nitrures sur des circuits intégrés, ou IC. Le C2S est conçu pour fournir aux utilisateurs un outil fiable et à haut débit qui est spécialement conçu pour l'optimisation avancée des processus. Le réacteur C2S comporte deux chambres, séparées par une cloison, et utilise un équipement chimique d'injection de vapeur pour introduire des réactifs dans la chambre de traitement. Les deux chambres sont conçues pour fonctionner simultanément à des pressions, températures et débits différents. Ceci permet d'optimiser tous les paramètres nécessaires pour obtenir la vitesse de dépôt en couches minces souhaitée et l'uniformité de la couverture. Le C2S utilise de l'argon d'ultra-haute pureté pour pressuriser la chambre et favoriser le flux de gaz lisse, ainsi qu'un substrat chauffé (2200 ° C) et un système de pulvérisation pour atteindre les taux de dépôt les plus élevés. L'unité est conçue pour être extrêmement précise, avec un contrôle de processus en plusieurs points pour assurer le plus haut niveau d'uniformité sur la surface du substrat. Un contrôleur informatisé est également prévu pour permettre aux utilisateurs de contrôler et d'ajuster facilement les paramètres de pression, de température et de débit au besoin. Le C2S est équipé de plusieurs technologies de pointe pour améliorer le processus, y compris la technologie NOVELLUS Close Space Sublimation (CSS). Cette technologie permet aux utilisateurs de déposer directement plusieurs couches de tungstène et d'autres films métalliques réfractaires, à un taux de dépôt plus élevé que les procédés CVD traditionnels. Il élimine également la nécessité d'étapes de gravure, ce qui réduit à la fois le coût et le temps de cycle. En outre, le C2S peut être intégré avec NOVELLUS Endura CVD Machine, qui est conçu pour fournir une couverture uniforme à des taux de dépôt plus élevés avec une meilleure précision de contrôle du processus. Cet outil permet également aux utilisateurs de surveiller, contrôler et optimiser les paramètres et les processus de dépôt en temps réel, ce qui se traduit par un meilleur contrôle des défauts et une augmentation du rendement. Le rapport coût/performance élevé et les fonctionnalités personnalisables offertes par le C2S en font un choix idéal pour une large gamme d'applications de fabrication avancées. Le contrôle de processus ajouté permet aux utilisateurs de faire fonctionner l'actif à des vitesses plus élevées tout en conservant l'uniformité souhaitée sur la surface du substrat. Avec ses performances fiables et ses fonctionnalités de personnalisation, le réacteur CONCEPT 2 Speed offre aux utilisateurs une solution efficace et rentable pour la production de dispositifs avancés à couches minces.