Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9140633 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed
Réacteurs
Fabricant
NOVELLUS
Modèle
CONCEPT 2 Speed
ID: 9140633
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Systems, 8" (3) Chambers Wafer shape: flat PET Module Module A: Shrink Process A: STI / IMD Module C: Shrink Process C: STI / IMD System UPS power Module B: Shrink Process B: STI / IMD Loadlock dry pump: LOT 105 Slit valve insert Slit valve type: SMC L-Motion TM dry pump model: LOT 105 Loadlock baratron: MKS TM Turbo pump: PFEIFFER TMH260 TM Throttle valve: MKS TM Baratron model: MKS Wafer sensor Fab installation EMO's (Turn to release) Front monitor: Stand alone UI rack Signal tower Module controller: MC1 Host interface: SECS Module A: Chamber type: Shrink Chamber process: STI / IMD Process clean type: In-situ Module controller: MC1 Module turbo pump: MAG2000 Manometer 1(10T): MKS7 750B Throttle valve: MKS 153D-15973 ESC / Dome cooling: PCW Temperature monitoring: NTM500C Manometer 2(10T): MKS 750B HF Generator: AE RFG5500 LF Generator: AE PDX 8000 RF Match: Mercury 3013 Manometer 3(100m): MKS 629B Dual clean injector kit Injector type: Single Louvered screen Pedestal lift type: Dual position Foreline type: Universal Injector size: 2" Module B: Chamber type: Shrink Chamber process: STI / IMD Process clean type: In-situ Module controller: MC1 Module turbo pump: MAG2000 Manometer 1(10T): MKS7 750B Throttle valve: MKS 153D-15973 ESC / Dome cooling: PCW Temperature monitoring: NTM500C Manometer 2(10T): MKS 750B HF Generator: AE RFG5500 LF Generator: AE PDX 8000 RF Match: Mercury 3013 Manometer 3(100m): MKS 629B Dual clean injector kit Injector type: Single Louvered screen Pedestal lift type: Dual position Foreline type: Universal Injector size: 2" Module C: Chamber type: Shrink Chamber process: STI / IMD Process clean type: In-situ Module controller: MC1 Module turbo pump: MAG2000 Manometer 1(10T): MKS7 750B Throttle valve: MKS 153D-15973 ESC / Dome cooling: PCW Temperature monitoring: NTM500C Manometer 2(10T): MKS 750B HF Generator: AE RFG5500 LF Generator: AE PDX 8000 RF Match: Mercury 3013 Manometer 3(100m): MKS 629B Dual clean injector kit Injector type: Single Louvered screen Pedestal lift type: Dual position Foreline type: Universal Injector size: 2" Power supply: 3￠, 5 Wires, 208V 2000 vintage.
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NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est un équipement de réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour construire des couches minces conformes sur de grands substrats. Le système est conçu pour assurer un haut débit et un contrôle de processus supérieur sur toute la surface du substrat. CONCEPT 2 Le réacteur de vitesse utilise une conception modulaire qui permet aux utilisateurs de configurer leurs systèmes de dépôt pour répondre au mieux à leurs besoins exacts. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est équipé d'une chambre CVD basse pression équipée d'une tête de douche monoplace. La tête de douche est capable de distribuer rapidement et uniformément des produits chimiques à l'ensemble du substrat. Cette technique efficace de distribution des gaz permet d'éliminer les effets de bord et fournit une vitesse de dépôt uniforme et homogène sur toute la surface. CONCEPT 2 La vitesse est construite en utilisant uniquement l'équipement de la plus haute qualité. Il est conçu pour répondre aux exigences les plus strictes en matière de contrôle de la qualité et pour garantir un processus de dépôt précis et reproductible. L'unité est également conçue pour être très efficace, permettant aux utilisateurs de réaliser plus de films de métallisation plus rapidement et avec moins de matière, ce qui permet d'économiser du temps et de l'argent. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT 2 Speed comprend une machine avancée de contrôle des processus qui est conçue pour maximiser les performances et le rendement des processus. Cet outil dispose d'un module de contrôle de processus multi-paramètres fiable, ainsi que d'interfaces utilisateur intuitives. De plus, l'actif peut être configuré pour permettre la surveillance à distance, la synchronisation multi-chambres et la gestion du rendement en temps réel. CONCEPT 2 Speed est bien adapté pour une utilisation dans un large éventail d'industries, y compris la microélectronique et la production de panneaux solaires. Le modèle est intégrable avec les solutions NOVELLUS Foundry existantes, offrant aux utilisateurs une source unique pour tous leurs besoins de dépôt. La conception avancée de la chambre et le contrôle des processus du réacteur NOVELLUS CONCEPT 2 Speed offrent aux utilisateurs un dépôt de couches minces conforme de qualité supérieure, hautement reproductible et efficace.
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