Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146623 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed reactor est un outil avancé et polyvalent de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) qui est utilisé pour créer des couches de dispositifs semi-conducteurs dans la fabrication à haut volume. Il est capable de traiter des substrats jusqu'à 350 mm de taille, y compris des conceptions avancées de MPU et de transistors haute performance. CONCEPT 2 Réacteur à vitesse NOVELLUS dispose d'une architecture flexible et multi-stations, permettant une production à haut débit et à faible coût par filière. Le réacteur comprend un équipement de traitement bi-réacteur, bi-substrat qui permet le traitement simultané avant et arrière de grandes plaquettes de 300 et 350 mm. Il dispose également d'un mécanisme complet de manutention des plaquettes qui permet un transfert rapide entre les stations de traitement. Le réacteur utilise des procédés de dépôt avancés et est capable de traiter un large éventail de matériaux, y compris le silsesquioxane d'hydrogène (HSQ), le silicium polycristallin et le verre silicate. Il est conçu pour assurer une homogénéité de température optimale et un contrôle précis de l'épaisseur de la couche sur tout le substrat. La plate-forme utilise le mode haute pression basse puissance pour minimiser les effets indésirables des vitesses de chauffage excessives et pour assurer des résultats de dépôt répétables. Il utilise en outre les aligneurs verticaux et les réaligneurs pour la manutention et le positionnement du substrat dans la chambre du réacteur. Le réacteur comprend un système de vide capable d'atteindre un niveau élevé de vide et de le maintenir sur une longue période de temps, assurant un processus CVD fiable et répétable. L'unité de pompage est équipée d'une machine de capture intégrée qui élimine les particules de la chambre, assurant un traitement de gravure propre. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est conçu pour la fiabilité ultime et le débit de production. Il dispose d'un ensemble complet de fonctions de surveillance, de rétroaction et de protection contre les pannes qui permettent l'intégration transparente de la plate-forme dans une ligne de production. Le réacteur est en outre équipé d'un chucks électrostatique avancé (ESC). Ceux-ci permettent un serrage précis de la plaquette lors des étapes de la plaquette, avec des valeurs de tension extrêmement faibles. CONCEPT 2 Speed est équipé d'un outil d'enregistrement des données qui peut fournir des données précieuses aux utilisateurs. Le matériel d'exploitation enregistre le rendement, l'historique des processus, le développement de la recette, les données de défauts et d'autres paramètres clés, contribuant à l'optimisation du rendement et du débit. En conclusion, NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est un réacteur CVD avancé conçu pour le traitement des dépôts à haut volume, à faible coût et répétable. Il est équipé de systèmes complets de manutention et de surveillance des plaquettes, permettant un traitement en aval fiable et un débit élevé. Le réacteur fournit des procédés de gravure propres et est capable de traiter un large éventail de matériaux, de l'hydrogène silsesquioxane au verre silicate.