Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9189030 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est un réacteur avancé de traitement des semi-conducteurs qui utilise la technologie UHV pour le dépôt précis de couches minces. Ce réacteur est typiquement utilisé dans les usines de fabrication de semi-conducteurs pour créer des structures complexes au niveau microscopique. L'un des principaux composants de conception du réacteur est sa source d'énergie RF brevetée, qui est capable de contrôler la vitesse et l'épaisseur des couches déposées avec une extrême précision. Le réacteur abrite également une multitude d'autres composants qui facilitent le contrôle précis du processus de dépôt et facilitent la production selon les spécifications exactes requises par le client. CONCEPT 2 Le réacteur de vitesse utilise un diamètre de 40 cm, chambre de type creuset qui contient l'espace UHV, un ensemble de bobines de chauffage, et divers ports d'entrée et d'échappement de gaz. La chambre est entourée de deux zones de basse pression et d'une zone de haute pression qui délivre des gaz réactifs au porte-substrat creux. Ce support est également équipé de queues de chauffage résistives et de cages Faraday, qui assurent un dépôt précis des matériaux avec un contrôle total de l'énergie du faisceau d'ions. L'équipement de distribution de puissance du réacteur est également capable de fournir une énergie RF précise pour les procédés de dépôt de gaz chauffé, inerte et réactif. Ce système peut fournir jusqu'à 500 kW de puissance RF et est contrôlé par le logiciel, en utilisant la rétroaction en temps réel du processus. De plus, les techniques de triage pulsé sont utilisées avec NOVELLUS Concept 2 Water Speed pour les gravures de faisceaux d'ions, le brassage sélectif et d'autres procédés non disponibles avec d'autres réacteurs. Refroidissement pour NOVELLUS CONCEPT 2 La vitesse est assurée par un recirculateur d'immersion, qui fournit de l'eau de refroidissement à un anneau intérieur dans les parois de la chambre. Cette unité assure le maintien des températures à des niveaux optimaux, assurant un dépôt précis et précis. En plus de ces composants, le réacteur CONCEPT 2 Speed contient également une machine de contrôle de processus assistée par ordinateur. Cet outil permet de contrôler la température et la pression, ainsi que la vitesse de dépôt, tout en permettant d'affiner le processus de dépôt. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est un réacteur de dépôt extrêmement avancé et précis, parfait pour une grande variété d'applications. Avec ses nombreuses caractéristiques, le réacteur assure un contrôle total du processus de dépôt et permet la production de structures complexes en couches minces avec une extrême précision.