Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9238452 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est un réacteur avancé à double traitement à dépôt chimique en phase vapeur amélioré (PECVD) conçu pour améliorer l'uniformité des pièces et le débit de fabrication. C'est l'un des systèmes PECVD les plus avancés disponibles sur le marché pour le dépôt de couches minces. CONCEPT 2 Vitesse Le réacteur PECVD utilise une chambre de double traitement avec plasma non thermique supporté par RF pour créer une couche uniforme de revêtements avec une homogénéité et des propriétés exceptionnelles. Le système 2 Speed offre une précision de couche exceptionnelle, l'uniformité et la qualité de surface en utilisant deux chambres de processus alternées et deux générateurs RF individuels, ce qui permet d'améliorer le contrôle du film, la répétabilité et la précision par rapport aux systèmes à chambre unique. Ce système PECVD dispose d'une grande précision dans le dosage et le contrôle des gaz, ce qui permet d'assurer des paramètres de travail adéquats et une uniformité des substrats pour améliorer le contrôle et l'homogénéité des processus. Il offre également un générateur de plasma direct, qui aide à réduire la contamination de la chambre de processus tout en offrant une répétabilité supérieure. Il offre aux utilisateurs une large gamme de compositions gazeuses de procédé optionnelles et de pressions de chambre, permettant le dépôt de couches multiples pour des topologies complexes. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed offre également une meilleure filtration pour les revêtements haute densité. Cela élimine la nécessité de cycles de nettoyage et de séchage supplémentaires, ce qui augmente le débit et améliore les économies. Il dispose également d'un contrôle rigoureux de la température du substrat, ce qui contribue à réduire la formation de défauts. CONCEPT 2 Speed Le système PECVD est conçu pour des applications de salle blanche et de production dans une variété d'industries. Il convient aux revêtements tels que les oxydes, les nitrures, les carbures et les fluorures pour des applications incluant le traitement des semi-conducteurs, les écrans plats, l'automobile, l'opto-électronique et les revêtements décoratifs.