Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9301536 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor est un système de dépôt spécialement conçu pour les procédés à très basse température. Développé par NOVELLUS Systems, Inc., CONCEPT 2 Speed Reactor est un outil à chambre unique avec une cathode linéaire hybride et alimenté par un arc pulsé continu. Cette conception unique est capable d'exécuter des processus à des températures allant d'environ 125 ° C à 175 ° C et de permettre le dépôt d'une classe plus large de matériaux allant des oxydes aux nitrures, ou de couches individuelles composées de métaux, de silicures et de matériaux apparentés au silicium. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor est conçu pour exécuter plusieurs processus dans une seule unité. Il s'agit notamment du dépôt de films, du nettoyage des chambres, de la distribution des gaz et des traitements par électrodes. Chacun des processus peut être exécuté indépendamment ou séquentiellement pour optimiser les conditions du processus. Le réacteur est également conçu avec une chambre amovible, permettant une analyse efficace et précise du contrôle de qualité. CONCEPT 2 Speed Reactor dispose également d'une configuration de tête de douche automatique intégrée. Ceci permet une répartition homogène des gaz de procédé dans toute la chambre, ainsi qu'un contrôle de la température à la surface de la plaquette. De plus, l'ensemble cathodique est conçu avec deux composants interchangeables pour le dépôt de siliciure métallique ou métallique. Les deux composants permettent un réglage de la puissance individuelle ou duale. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor a une empreinte plus importante que les systèmes précédents de NOVELLUS. Cela augmente la zone d'interface et fournit une plus grande zone pour les fonctionnalités qui sont critiques pour l'optimisation des processus tels qu'une meilleure uniformité et une meilleure répétabilité. Le réacteur offre également une technologie propre supérieure pour éliminer les particules ou contaminants qui peuvent endommager la ou les plaquettes. CONCEPT 2 Speed Reactor fonctionne dans un environnement autonome, réduisant les coûts de processus en éliminant le besoin d'un système de vide. En outre, le réacteur a des débits de gaz de procédé très faibles et peut être configuré pour une utilisation efficace des gaz de procédé. Et grâce à sa conception, le réacteur est capable d'exécuter plusieurs processus avec un système à chambre unique et un ensemble de sources sous vide. En conclusion, NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor est un excellent outil pour les procédés à très basse température. Il a une empreinte plus importante que les modèles NOVELLUS précédents et est conçu avec une cathode linéaire hybride et une configuration de tête de douche automatique, permettant une meilleure uniformité et répétabilité. Il est également capable de traiter plusieurs processus dans une même unité. CONCEPT 2 Speed Reactor offre une technologie propre supérieure et est très efficace avec des débits de gaz plus faibles.