Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9389932 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est un réacteur à grande vitesse utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il combine un certain nombre de technologies de pointe pour fournir une solution rentable et performante pour les fabricants de chipmakers afin de respecter leurs délais serrés et leurs exigences d'exactitude difficiles. CONCEPT 2 Speed est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) qui permet un dépôt rapide de film conforme avec une uniformité inégalée, un contrôle de la tension du film et une capacité de vitesse de dépôt. Ce réacteur utilise un certain nombre de caractéristiques intégrées qui fournissent des résultats de dépôt de haute performance. Cela comprend un Krytox™ tambour de dépôt direct avec une chambre de tête de douche blindée, le contrôle du générateur RF en boucle fermée et le contrôle individualisé de la température des composants du procédé de quartz. La capacité d'échange rapide de gaz garantit en outre la stabilité du processus et une utilisation efficace des cibles gazeuses. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est également équipé d'un système de cartographie de substrat en temps réel et d'un logiciel avancé de contrôle des processus. Cela permet au réacteur de surveiller les substrats in situ et d'utiliser les données de cartographie pour ajuster avec précision les paramètres du processus au besoin, assurant ainsi un dépôt parfait de film sans défaut. CONCEPT 2 Speed offre également une uniformité supérieure et un contrôle précis de l'épaisseur avec sa stratégie de traitement à deux zones. Cela lui permet d'ajuster rapidement la vitesse de gravure des substrats pour tenir compte des processus de fabrication « couche sur couche » et « ascendante », offrant un débit incroyablement élevé. La zone réactionnelle est intégrée à un blindage radiatif assurant un haut rendement de transfert tout en conservant des températures de substrat extrêmement basses. Pour améliorer encore l'efficacité et la rentabilité, l'unité dispose d'une machine de manutention chimique intégrée (CMS), qui surveille et contrôle automatiquement chaque composant du processus chimique. Cela garantit un contrôle de la qualité, de la haute pression et de la température tout au long du processus réactif. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed est l'un des réacteurs les plus avancés sur le marché aujourd'hui. Il est idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui ont besoin d'un outil rentable et performant pour leurs processus de prochaine génération. Ses fonctionnalités avancées offrent un contrôle amélioré, une précision précise et des résultats de dépôt à haute efficacité qui aident les fabricants de puces à répondre même aux applications les plus exigeantes.