Occasion NOVELLUS Concept 2 Triple Speed #9203792 à vendre en France

NOVELLUS Concept 2 Triple Speed
ID: 9203792
Taille de la plaquette: 8"
HDP CVD Systems, 8" (3) Chambers.
Le réacteur NOVELLUS Concept 2 Triple Speed est un équipement de gravure et de dépôt de haute technologie conçu pour répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une combinaison unique de polyvalence de processus et de temps de cycle rapide, ce qui donne des résultats de haute qualité à un coût de propriété moindre. Concept 2 Triple Speed utilise la technologie plasma unifiée, lui permettant de gérer à la fois la gravure et le dépôt sur une seule plate-forme. Cela donne au système la capacité de traiter un large éventail de matériaux, y compris les métaux, les oxydes et les polymères. Il offre un taux de gravure élevé et une faible défectivité, avec d'excellents rapports d'aspect et une couverture supérieure. L'unité dispose de trois modes de base : planaire, plat et profond, avec des rapports d'aspect maximum jusqu'à 20:1 réalisables en mode profond. Cela permet un large éventail de matériaux de processus et d'applications, de l'isolation de tranchées peu profondes (STI) aux structures d'interconnexion avancées. Le NOVELLUS Concept 2 Triple Speed est conçu pour un fonctionnement facile et efficace, ce qui se traduit par des temps d'installation plus rapides et des temps d'arrêt moins élevés pour la maintenance. Sa conception permet également des temps de transfert des plaquettes plus rapides, ce qui peut réduire les temps de cycle et améliorer le débit. La machine a également un certain nombre de caractéristiques qui améliorent la stabilité du processus. Il s'agit notamment de deux canaux de distribution de gaz, de sources de médias mobiles et d'un outil amélioré de distribution de gaz. Cela permet à l'actif de fournir des résultats de processus plus propres et plus cohérents. Le modèle a également une architecture très flexible avec un certain nombre d'options pour maximiser les capacités de processus et le débit. Cela comprend un moteur de procédé intégré, des configurations de chambres étendues et une solution de nettoyage automatisée. Enfin, le Concept 2 Triple Speed est conçu pour utiliser moins d'énergie que les autres systèmes, ce qui rend son fonctionnement plus efficace et plus économique. Dans l'ensemble, le réacteur NOVELLUS Concept 2 Triple Speed est une solution puissante pour l'industrie des semi-conducteurs. Il offre des performances élevées, une polyvalence et un bon rapport coût-efficacité, ce qui en fait le choix idéal pour un large éventail d'applications.
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