Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 #152911 à vendre en France

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Fabricant
NOVELLUS
Modèle
CONCEPT 2
ID: 152911
Taille de la plaquette: 6"
CVD Nitride system, parts machine, 6" Transfer module with load locks & turbo (2) Cabinets.
NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor est un équipement de gravure à plasma haut de gamme pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Ce système fournit une variété de procédés de gravure pour la gravure d'un large éventail de matériaux. Il améliore le contrôle et l'uniformité des procédés par rapport aux systèmes de gravure traditionnels. Le réacteur CONCEPT 2 est un réacteur multifonctions, capable de graver une variété de caractéristiques avec un large choix de gaz. Il intègre Intelligent Process Control (IPC) qui optimise automatiquement le processus, tout en surveillant la chimie de gravure et la température du substrat. La fonction d'électro-tolérance avancée rétablit l'uniformité après chaque mise en place de la recette. En outre, l'unité de manutention de substrat de grande capacité offre un débit accru et un temps de transfert de recette amélioré. La machine de procédé non abrasif du réacteur aide également à réduire l'usure des parois de la chambre de gravure, ce qui donne un profil de gravure plus uniforme. D'autres caractéristiques du réacteur comprennent un moniteur de gaz en temps réel, permettant à l'utilisateur d'analyser les gaz de procédé et de remédier rapidement à tout problème de procédé de gravure. De plus, la source de plasma de quartz de haute précision assure une gravure homogène sur tous les substrats, quelle que soit la taille de la plaquette. La fonction de contrôle automatique des points d'extrémité arrête le processus de gravure lorsque le défaut est toujours visible dans la conception. Cela aide à réduire le risque d'effondrement et d'érosion des caractéristiques. Enfin, les recettes de gravure avancées fournies dans le réacteur NOVELLUS CONCEPT 2 améliorent encore la qualité globale du procédé de gravure. En utilisant des paramètres précis basés sur les résultats souhaités par le client, il est possible d'obtenir des caractéristiques extrêmement propres et uniformes. La bibliothèque IPC peut être utilisée pour stocker les recettes et traiter les variables, permettant à l'utilisateur de répliquer rapidement les profils de gravure. En conclusion, le réacteur CONCEPT 2 est un outil de gravure de pointe qui permet d'améliorer le contrôle des actifs, l'uniformité et le débit. Ses caractéristiques avancées en font un modèle idéal pour les dispositifs semi-conducteurs haut de gamme. Avec ses recettes de processus précises et sa bibliothèque IPC, NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor contribue à garantir des processus de gravure propres et cohérents.
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