Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 #9179262 à vendre en France

L'équipement NOVELLUS CONCEPT 2 est un type de système de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PE-CVD) ultra-haute densité, conçu pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Cette unité est idéale pour les applications nécessitant le dépôt de couches minces pour le développement de dispositifs et de matériaux avancés en raison de sa capacité de dépôt extrêmement précis. La machine dispose de trois chambres de dépôt principales avec une conception MRC (multi-ring concept). La MRC est basée sur le concept de plusieurs sites plasmachimiques de réaction dans une seule chambre. Il dispose d'un anneau de dépôt en rotation à deux étages, à un étage et à plusieurs étages, permettant une large gamme de contrôle d'épaisseur et d'uniformité sur la surface de la plaquette. L'outil est également capable de produire une variété de films minces complexes à l'aide de PE-CVD, tels que des matériaux spécialisés, des couches barrières et des films d'oxydes transparents. L'actif est équipé d'une serrure de charge avancée, permettant de charger les plaquettes directement dans les chambres sans casser le vide. Les chambres ont une large gamme de capacités de contrôle atmosphérique et de pression, et sont capables de traiter jusqu'à 24 plaquettes à la fois. Le modèle est également conçu avec un équipement d'échappement avancé, permettant l'élimination sûre et efficace des déchets et empêchant l'accumulation dans les composants du système. Le CONCEPT 2 dispose également d'une source de plasma avancée, permettant un contrôle précis de l'apport énergétique lors du dépôt. Cette source avancée utilise une technique de changement de fréquence dynamique pour fournir une densité de puissance plasma uniforme sur toute la surface de la plaquette. L'unité est également équipée d'une variété de systèmes de diagnostic et de métrologie avancés, conçus pour vérifier la qualité des films déposés et assurer l'uniformité sur l'ensemble de la plaquette. En conclusion, la machine NOVELLUS CONCEPT 2 est un outil PE-CVD très précis et efficace, conçu pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Ses capacités de dépôt précis de couches minces et son uniformité sur la surface de la plaquette la rendent idéale pour les applications de développement de dispositifs et de matériaux. Grâce à ses systèmes avancés de verrouillage de charge, de contrôle de la pression de la chambre et de l'atmosphère, de source de plasma avancée et de diagnostic et de métrologie, NOVELLUS Concepts 2 est capable de fournir des dépôts de couches minces de pointe pour diverses applications.