Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 #9188218 à vendre en France

Fabricant
NOVELLUS
Modèle
CONCEPT 2
ID: 9188218
Parts.
NOVELLUS CONCEPT 2 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) conçu pour offrir des performances d'équipement supérieures. C'est un outil automatisé très avancé, adapté au dépôt d'une large gamme de matériaux, le cuivre, le chrome et l'aluminium étant parmi eux. CONCEPT 2 est équipé de multiples sources de zones actives qui produisent le processus de dépôt très efficace, contrôlable et propre. La caractéristique clé qui distingue les performances de NOVELLUS CONCEPT 2 des produits concurrents est sa répétabilité et son homogénéité extrêmement élevées. Cela est obtenu grâce à l'utilisation de deux sources TEM indépendantes à base de cellules qui sont réglées précisément pour maintenir une précision de processus élevée à tout moment. Le système est monté à la base, une plate-forme évolutive qui peut ajouter des fonctionnalités et des fonctionnalités pour les utilisateurs afin de répondre aux exigences spécifiques des applications. Il dispose d'un design compact et ergonomique, permettant l'installation et le fonctionnement dans un espace limité. CONCEPT 2 est en mesure de prendre en charge un large éventail d'applications avancées, de la simple plaquette aux applications de production à haut débit. Le système intègre des équipements de contrôle et de surveillance des réactions afin d'assurer la répétabilité et des rendements élevés. L'équipement de contrôle et de surveillance automatiques surveille et mesure le taux de dépôt, les variations de température et le débit de gaz ; offrant le plus haut niveau de performance de processus et de contrôle des paramètres disponibles dans l'industrie. Il est équipé de la technologie Advanced Gas Distribution (AGD), une technologie NOVELLUS exclusive qui contrôle précisément l'acheminement des gaz réactifs à la surface du substrat, permettant plus d'uniformité et de contrôle que les systèmes traditionnels de distribution de gaz. NOVELLUS CONCEPT 2 est capable de fournir des résultats uniformes et reproductibles, en utilisant des dépôts à faible bilan thermique. Ceci est dû à la combinaison du contrôle accru du processus de CONCEPT 2 grâce à la technologie AGD et à son contrôle de la vitesse de dépôt de précision, une fonctionnalité qui permet aux utilisateurs d'ajuster la vitesse de dépôt en une seule course avec une précision et une répétabilité étonnantes pour éviter de masquer les revêtements de bord et fournit un excellent rapport d'aspect remplissant avec un minimum d'ombre de pince supérieure. NOVELLUS CONCEPT 2 est un outil entièrement automatisé de nouvelle génération qui offre des performances supérieures et un contrôle précis par rapport aux produits concurrents. Les systèmes automatisés de suivi des processus, de contrôle et de rétroaction font de CONCEPT 2 un choix idéal pour les applications avancées de dépôt, offrant une grande répétabilité et des rendements élevés.
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