Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 #9251350 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 2 est un réacteur multi-stations CMP (Chemical Mechanical Pollishing) populaire, conçu pour offrir des performances de polissage améliorées et un débit élevé, tout en réduisant les coûts globaux. CONCEPT 2 a été développé et est largement utilisé dans la production de semi-conducteurs, car il combine la chambre de polissage, le système porteur et la surveillance in situ pour maximiser l'efficacité du processus. NOVELLUS CONCEPT 2 est conçu pour être un réacteur CMP complet, offrant une variété de fonctionnalités et de capacités pour optimiser les performances de polissage. Le CONCEPT 2 utilise une combinaison de gaz horizontal et l'écoulement de slurry a appelé TrimodalTM pour améliorer l'uniformité de processus et réduire la consommation chimique. Cette fonction permet d'optimiser les réglages individuels du gaz, du lisier et des niveaux de pression pour le processus spécifique de chaque recette ou application de polissage. De plus, la fonction standard Modulated Load Control (MLC) optimise la répartition de la pression sur la plaquette pendant le polissage afin d'assurer l'uniformité de surface sur n'importe quelle plaquette, ainsi que sur tout un lot de production. Le cœur de NOVELLUS CONCEPT 2 est son système de contrôle. Cela inclut les recettes CMP les plus à jour qui peuvent être facilement transférées de station en station via le bus de commande série. Il utilise également une rétroaction paramétrique sur des paramètres tels que l'épaisseur du film, la rugosité de la surface et l'uniformité qui sont essentiels pour réussir le polissage. Le réacteur CONCEPT 2 a gagné sa place dans l'industrie de l'application des semi-conducteurs comme l'un des premiers réacteurs CMP. Il offre des performances de polissage fiables, efficaces et rentables, avec la possibilité de réduire les coûts de CMP jusqu'à 30 %. La combinaison de ses caractéristiques avancées, avec ses performances exceptionnelles, en fait l'outil idéal pour la plupart des productions.