Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 #9262616 à vendre en France

Le réacteur NOVELLUS CONCEPT 2 est un outil de production de pointe spécialement conçu pour améliorer le processus de dépôt des métaux pour la fabrication de puces semi-conductrices. Le réacteur est idéal pour des dépôts de cuivre RDL (couche de redistribution) et de matériau diélectrique multiple (MDM) de faible à moyen pas. Ce type de dépôt est une étape cruciale dans le processus de fabrication de dispositifs à micropuces avancés. Le réacteur CONCEPT 2 dispose d'une chambre de procédé unique qui applique une pression caustique pompée au procédé et d'un environnement tubulaire de fonctionnement latéral qui optimise l'uniformité des dépôts et la couverture des étapes. Cette chambre abrite également un équipement à basse pression pour contrôler la température du procédé de manière sûre et efficace. Ce système permet d'assurer l'uniformité et la répétabilité tout au long du processus de dépôt. NOVELLUS CONCEPT 2 comprend également une unité de contrôle de processus avancée intégrée qui surveille et régule la pression, la température, l'alimentation en gaz et d'autres paramètres à travers le substrat, afin d'assurer un contrôle de processus maximal. Cette fonctionnalité assure des dépôts cohérents de haute qualité avec des variations minimes. Le CONCEPT 2 comprend un générateur à fréquence variable intégré qui offre des fréquences réglables, un fonctionnement multifréquence et des possibilités de commutation à haute fréquence. Ce générateur crée un champ d'énergie RF pulsé qui contribue à améliorer la performance du processus de dépôt. NOVELLUS CONCEPT 2 est capable d'automatiser le fonctionnement des gaz inertes, d'assurer un chargement uniforme des gaz et un contrôle de pression sur l'ensemble du substrat, ainsi que de contrôler individuellement les hauteurs et les températures des segments des injecteurs internes. Cette fonctionnalité permet un contrôle précis du flux de processus et permet d'assurer des performances cohérentes. CONCEPT 2 offre également une technologie de capture de particules à haut rendement, améliorant les performances des particules pendant les processus de dépôt et augmentant les temps de cycle. Le réacteur dispose d'une machine d'isolation des vibrations sans contact, qui isole les vibrations du substrat, ce qui améliore le débit et l'uniformité. En conclusion, le réacteur NOVELLUS CONCEPT 2 est un outil de production avancé conçu pour améliorer le processus de dépôt métallique pour la fabrication de puces semi-conductrices. L'outil intégré de contrôle du procédé du réacteur, le générateur à fréquence variable, le fonctionnement du gaz inerte et la technologie de capture des particules contribuent tous à augmenter les temps de cycle et à améliorer la performance et le contrôle du procédé.