Occasion NOVELLUS CONCEPT 2 #9315487 à vendre en France

Fabricant
NOVELLUS
Modèle
CONCEPT 2
ID: 9315487
CVD System, 8" Mainframe Wafer type: Notch System and module controller: MC1 SSD Index robot: Type II Magnetron 7 Transfer robot Endpoint detector Sequel chamber: Sequel express DLCM: S0862 Process type: Nitride IOC Version: 4.2 Gas box configurations: Gas line / Gas flow (SCCM) / MFC Make / MFC Model SiH4 / 750 / HORIBA / Z512 N2 / 5000 / UNIT / UFC1661 SiH4 / 350 / HORIBA / Z512 He / 10000 / UNIT / UFC1661 NH3 / 10000 / UNIT / UFC1661 He (Aux) / 1000 / UNIT / UFC1661 NF3 / 5000 / UNIT / UFC1661 N2O / 20000 / UNIT / UFC1661 N2 / 12000 / UNIT / UFC1661 CO2 / 20000 / UNIT / UFC1661 2000 vintage.
Le réacteur NOVELLUS CONCEPT 2 est un équipement de gravure ionique réactive respectueux de l'environnement conçu pour fournir des capacités de gravure précises avec plasma haute densité. Les gaz réactifs sont chauffés pour ioniser le gaz constituant le plasma, ce qui permet d'accélérer le gaz vers une surface métallique. Lorsque les ions réactifs frappent le métal, l'énergie des ions individuels est dépensée pour éliminer les atomes métalliques de la surface. De plus, cela permet une grande maîtrise du procédé de gravure pour créer un substrat uniforme. C'est l'approche adoptée par la solution CONCEPT 2. Le système NOVELLUS CONCEPT 2 permet aux utilisateurs d'atteindre une productivité plus élevée, des délais d'exécution plus longs et un meilleur contrôle des processus. Il est capable de manipuler des couches de toute épaisseur, des films ultra-minces aux structures plus épaisses. Les débits peuvent être ajustés finement en ordre pour créer les structures gravées requises. L'unité comprend plusieurs caractéristiques qui sont conçues pour protéger l'environnement et assurer le plus haut niveau de propreté pendant l'opération. Cela comprend une machine de recyclage de l'air pour filtrer les particules, une deuxième paroi au point d'alimentation pour empêcher les réactifs de fuir dans l'environnement extérieur, ainsi qu'une ligne d'échappement dédiée qui dirige les réactions loin des zones de production. CONCEPT 2 outil est conçu pour être très efficace, fournissant jusqu'à 30 % moins d'étapes de traitement que les autres systèmes RIE. L'ensemble de l'actif, y compris les alimentations et les contrôleurs, sont dimensionnés pour l'application, de sorte que les utilisateurs peuvent personnaliser leur configuration au besoin. Le modèle comprend également une fonction de réglage courant optionnelle qui permet aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de puissance afin d'obtenir des résultats idéaux. C'est une fonctionnalité utile car elle permet de gagner du temps et d'améliorer les performances de l'équipement. NOVELLUS CONCEPT 2 est également livré avec un ensemble complet de fonctions de contrôle. Ceux-ci permettent aux utilisateurs de contrôler avec précision les paramètres du procédé, tels que la vitesse de gravure, la température, le débit de gaz et la pression. En outre, le système peut être surveillé et réglé à distance via une interface utilisateur graphique. Ceci permet d'obtenir le résultat de gravure souhaité de manière cohérente. Globalement, CONCEPT 2 est une unité de gravure hautement capable qui offre des caractéristiques de précision et de contrôle avancé. En réduisant considérablement les étapes de traitement et avec ses protocoles de sécurité robustes, NOVELLUS CONCEPT 2 est bien adapté à une variété d'applications, de la gravure en couches minces à la fabrication avancée d'appareils.
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