Occasion NOVELLUS Concept 3 Altus #293759372 à vendre en France
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ID: 293759372
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
WCVD System, 12"
(2) Chambers
PNL With Hard Disk Drive (HDD)
Remote Plasma Sources (RPS)
Gas box
Chamber complect
BROOKS Robot
(3) Load ports
Power box
2004 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Altus est un réacteur de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour des applications avancées. Cet outil polyvalent est conçu pour fournir précision et performance dans les processus de dépôt et de gravure critiques pour la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Au cœur du réacteur Concept 3 Altus se trouve sa conception de chambre innovante, qui permet un contrôle supérieur des processus et une uniformité. La chambre est conçue pour minimiser la production de particules et optimiser la dynamique du flux gazeux, assurant un dépôt de film cohérent et une gravure à travers la surface de la plaquette. Ce niveau de contrôle est essentiel pour répondre aux exigences strictes des dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération, où même de légères variations de l'épaisseur ou de la composition du film peuvent influer sur les performances et le rendement des dispositifs. Le réacteur est équipé de capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus, y compris la détection en temps réel de la température des plaquettes, le contrôle du débit de gaz et la surveillance de la pression. Ces caractéristiques permettent une modulation précise des paramètres de processus pour obtenir les propriétés de film souhaitées avec une répétabilité élevée. De plus, le réacteur est conçu pour accueillir un large éventail de produits chimiques, ce qui permet aux fabricants de semi-conducteurs d'adapter les procédés de dépôt et de gravure aux exigences spécifiques des appareils. L'une des caractéristiques clés du réacteur NOVELLUS Concept 3 Altus réside dans ses capacités de traitement à grande vitesse. Le réacteur est équipé de sources de plasma et de systèmes de chauffage de pointe qui permettent un dépôt et une gravure rapides du film sans compromettre la qualité du film. Ce débit élevé est essentiel pour répondre aux exigences de la fabrication de semi-conducteurs à grand volume et assurer une production rentable. En plus de ses performances, le réacteur Concept 3 Altus est conçu avec facilité d'utilisation. Le réacteur dispose d'une interface conviviale qui permet aux opérateurs de programmer et de surveiller facilement les recettes de processus, ainsi que d'accéder aux informations de diagnostic et de maintenance. En outre, le réacteur est équipé de capacités de surveillance à distance, permettant l'optimisation des processus en temps réel et le dépannage par des experts hors site. Le réacteur NOVELLUS Concept 3 Altus est également construit avec fiabilité et disponibilité. Le réacteur est conçu avec des matériaux et des composants robustes qui peuvent résister aux environnements chimiques durs et aux températures élevées rencontrées lors du traitement des semi-conducteurs. En outre, le réacteur est équipé de dispositifs de sécurité avancés pour protéger les opérateurs et prévenir les accidents. Dans l'ensemble, le réacteur Concept 3 Altus établit une nouvelle norme de performance et de polyvalence dans la fabrication de semi-conducteurs. Avec sa conception de chambre avancée, ses capacités de traitement à grande vitesse et son interface conviviale, ce réacteur est bien adapté à une large gamme d'applications de dépôt et de gravure dans la production de dispositifs semi-conducteurs de pointe. Sa fiabilité et sa facilité d'utilisation en font un outil précieux pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des résultats de haute qualité avec efficacité et précision.
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