Occasion NOVELLUS Concept 3 Altus #9375599 à vendre en France

NOVELLUS Concept 3 Altus
Fabricant
NOVELLUS
Modèle
Concept 3 Altus
ID: 9375599
CVD System.
NOVELLUS Concept 3 Altus (C3A) est un réacteur de pointe conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Le C3A offre des performances et une polyvalence inégalées en matière contrôlée et en paramètres de processus. Le C3A a une grande chambre rectangulaire qui est capable d'accueillir jusqu'à trois processus thermiques, ce qui peut impliquer plusieurs températures, pressions, flux, et d'autres conditions de processus. Chacun de ces processus peut être contrôlé de manière indépendante. La plate-forme est livrée avec un équipement de contrôle interactif intégré avec une large gamme de fonctions automatisées, ce qui la rend facile à installer et à maintenir des conditions précises dans la chambre. Le C3A intègre également intérieurement un système de tourelle double, qui permet d'utiliser plusieurs chambres de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) au sein d'une même unité. Cela permet de grandes séries de processus qui vont au-delà de ce que d'autres systèmes de taille similaire peuvent atteindre. Les fonctionnalités du C3A s'étendent avec la mise en œuvre de la technologie Smart Chamber Sensing. Cette technologie aide les opérateurs à ajuster les conditions de processus en temps réel en détectant et en surveillant les conditions à l'intérieur de la chambre. Il en résulte des revêtements très homogènes, ce qui donne une répétabilité ± 0,1 μm sur de grandes surfaces. Le C3A est également livré avec plusieurs caractéristiques de sécurité telles que des capteurs d'échappement à chaud et de chute de pression, une machine de protection implosive, et des plates-formes thermiques refroidies qui aident les petites particules à se décharger de la chambre. Ces caractéristiques de sécurité aident à protéger l'outil de tout dommage accidentel potentiel. Dans l'ensemble, le Concept 3 Altus est un atout de réacteur révolutionnaire qui n'a pas le même degré de polyvalence et de performance lorsqu'il s'agit de fournir des résultats reproductibles et uniformes dans la production de semi-conducteurs. Avec son large éventail de conditions de processus, de caractéristiques de sécurité et de technologie Smart Chamber Sensing, le C3A est une solution rentable qui peut être adaptée à vos besoins exacts.
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