Occasion NOVELLUS CONCEPT 3 INOVA-xT #9259673 à vendre en France
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ID: 9259673
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
PVD System, 12"
Process: AL, TI(N)
Degas: Left and right
(2) Q300 AL
Q300 TIN
HCM TIN
HCM TAN
Cooler
EFEM / WTS-HV
EFEM:
Load port: (3) FOUPs
User interface location: Right with keyboard, mouse and monitor
User interface configuration: Clean room wall interface
(25) Wafers / FOUPs
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
Robot traverser
WTS-HV:
(2) Magnatran 7 Robots
Robot blades: Ceramic, dual
Cryo HUB
CTI-CRYOGENICS IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
Left and right load lock:
(2) PFEIFFER TMH 071P Turbo pumps
(2) VAT Isolation valves
Left and right degas:
(2) PFEIFFER TMU 521P Turbo pumps
(2) VAT Isolation valves
PFEIFFER / BALZERS TMH 071P Turbo pump
(2) Q300 AL and Q300 TIN:
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
Mass flow controller: Ar, 200 SCCM
AERA FC-980C Mass flow controller: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C UPC: 300 SCCM
INFICON Ion gauge
ANAFAZER Module
HCM TI and HCM TAN:
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
Mass flow controller: Ar, 200 SCCM
MKS Mass flow controller: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C UPC: 300 SCCM
AERA FC-980C Ion gauge
Anafazer Module
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
(3) POLYCOLD 1XCL Chillers
(4) CTI 9600 Compressors
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Desktop PC
MPD (WTS-HV)
General rack:
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 RF Generators, P/N: 27-156759-00 / 3155107-101
Electric cabinet rack (Q300 AL):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
Electric cabinet rack (Q300 TIN):
CPI CPW2870B10 DC Power supply
(2) Electric cabinet racks (HCM):
TREK 684 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supplies
(8) SORENSEN DLM 60-10 EM Coil power supplies
Missing parts:
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot
2004 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Inova XT est un réacteur innovant conçu pour étendre les limites de la technologie d'échelle logique. Le réacteur utilise un procédé de gravure intra-filière pour contrôler la forme, la taille et le profil des caractéristiques des plaquettes semi-conductrices. Le réacteur Inova XT est idéal pour les applications de micro-modélisation lorsque la précision et la précision sont nécessaires. Le réacteur Inova XT utilise un design unique et breveté de cavité de flux, ce qui lui permet d'obtenir une gravure de précision avec un haut degré de précision. Le réacteur comprend une source de plasma, qui est intégrée à un équipement de voie et de buse fine qui peut être commandé par un seul opérateur. Ce système est capable de réaliser des profils de gravure bien définis, tout en conservant une vitesse de gravure étroitement contrôlée. Le réacteur Inova XT est conçu pour répondre aux exigences de plus en plus strictes des procédés avancés. Le réacteur dispose d'une unité intégrée de gravure du bain qui élimine proactivement toutes les dernières gouttelettes et contamine. Éliminer la maladresse associée aux autres réacteurs. Cette machine aide également à prévenir la contamination et favorise une répétabilité supérieure de la plaquette à la plaquette. L'Inova XT est également capable de gravure simultanée, ainsi que de gravure en quinconce. La gravure échelonnée permet aux opérateurs de minimiser les arrondis d'angle et d'améliorer le débit de petites tailles de fonctionnalités. La technologie Flex-Etch du réacteur permet également la création de recettes personnalisées pour des applications spécifiques. Cela permet à l'utilisateur d'adapter le procédé de gravure aux exigences de son procédé ou substrat spécifique. L'Inova XT bénéficie également de la conception d'être une solution rentable. Son architecture unique permet de réduire considérablement le nombre de pièces et de pompes nécessaires aux autres réacteurs. Cela réduit les dépenses de fonctionnement et la consommation d'énergie. En outre, le réacteur comprend également une flexibilité adaptative intégrée afin de réduire le temps nécessaire pour passer d'un processus à l'autre. Concept 3 Inova XT est un incroyable réacteur de gravure qui offre la précision des plaquettes avec l'efficacité des caractéristiques gravées. Grâce à sa conception brevetée de la cavité de flux et à son outil intégré de gravure du bain, le réacteur Inova XT est une solution rentable qui peut aider les fabricants de semi-conducteurs à obtenir une précision de pointe, une répétabilité supérieure et un débit accru avec des coûts d'énergie réduits.
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