Occasion NOVELLUS CONCEPT 3 INOVA-xT #9314932 à vendre en France

NOVELLUS Concept 3 Inova XT est un réacteur de pointe conçu pour la fabrication de circuits intégrés. Ce réacteur permet un dépôt en couches minces supérieur en utilisant des procédés avancés à haute température tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt en couche atomique (ALD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD). Il est capable de déposer un large éventail de matériaux, y compris le cuivre, le titane, l'aluminium et les oxydes de silicium, afin qu'il puisse être utilisé dans la création d'un certain nombre de composants différents. Ce réacteur est composé de trois composants primaires : la source de plasma, la chambre principale et la tour d'échappement. La source de plasma dirige une source de molécules de haute énergie qui provoque l'ionisation des atomes de gaz dans la chambre de procédé. Ceci permet une réaction avec le matériau en cours de traitement. La chambre principale maintient le matériau en cours de traitement et contrôle la température et la pression de l'équipement. La tour d'échappement aide à maintenir les particules contaminantes loin de la réaction et de tout matériau en cours de traitement. Concept 3 Inova XT est capable de processus extrêmement précis avec une excellente répétabilité. Son contrôle multi-zones permet d'obtenir un dépôt uniforme sans créer de problèmes de contamination dans toute la pièce. Il peut être programmé pour une variété de paramètres de processus qui permettent de choisir les paramètres de processus optimaux pour une performance maximale de film mince. La chambre principale de ce réacteur est isolée à haute température pour assurer une excellente efficacité thermique ainsi qu'une homogénéité thermique à travers la chambre. Cela permet de s'assurer que la température reste dans les paramètres de fonctionnement optimaux. La chambre est également équipée d'un système de suivi automatisé qui permet un contrôle précis de la position des gaz et des matériaux cibles dans la chambre lors du traitement. Cela permet d'optimiser la répétabilité des processus. En outre, NOVELLUS Concept 3 Inova XT est équipé d'une unité de surveillance en temps réel qui permet le contrôle des processus en boucle fermée. Dans l'ensemble, Concept 3 Inova XT est une machine de réacteur très avancée qui offre des capacités supérieures de dépôt en couches minces pour le processus d'intégration du cuivre et un certain nombre d'autres procédés connexes. Son contrôle à haute température et multi-zones assure un dépôt uniforme et une excellente efficacité thermique tout au long du processus. Il est également capable de surveiller l'ensemble du processus en temps réel, ce qui permet d'optimiser la répétabilité du processus et de sélectionner les réglages optimaux pour une performance maximale du processus en couches minces.