Occasion NOVELLUS Concept 3 Inova #9259672 à vendre en France
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ID: 9259672
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2000
PVD Systems, 12"
Process: MPD (WTS-HV)
(4) Chamber: Q300 AL, Q300 TiN, (2) TiHCM
EFEM:
Load port: (2) FOUPs
Right with keyboard, mouse and monitor
Clean room wall interface
Wafer / FOUP: 25
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
ATM
WTS-HV:
(2) BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robots
Robot blade: Ceramic, dual
SIOC: 0-4
Cryo HUB
IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
No MC3 System controller
No MC3 Handler controller
Left and right load lock:
TMH 071P Turbo pump
VAT Isolation valve
Left and right degas:
TMU 521P Turbo pump
VAT Isolation valve
Cool:
TMH 071P Turbo pump
Q300 AL and Q300 TIN:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
AERA UPC (300 SCCM)
INFICON Ion gauge
Anafazer Module
(2) HCM TI:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
MYKROLIS UPC (300 SCCM)
MYKROLIS Ion gauge
Anafazer Module
Electric cabinet rack (AL / TIN):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPW2870B10 CPI DC Power supply
Electric cabinet rack:
TREK 684-1 ESC Power supply
(2) CPW2870B10 CPI DC Power supplies
(8) DCS80-13E EM Coil power supplies
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
POLYCOLD PGC-150 Chiller
POLYCOLD 1XCL Chiller
CTI 9600 Compressor
SPUD Gas box
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Missing parts:
MC3 Controllers for system and module
MKS 651D-16202 Throttle valve controller
(4) Z-Table movement controllers, P/N: 19-131418-00
POLYCOLD 1XCL Closed loop gas chiller
VAT Valve, P/N: 07512-UA24-0001
TMP Controller, P/N: 19-126817-00 Rev B and 88-30620-000
CTI-CRYOGENICS Controller, P/N: 823247G001
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 Generators
VERIFLO SQMICRO302PFSFF Manual valve, 1/4 VCR, 2-way female
(3) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
MAG7 Robot
2000 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Inova Reactor est un réacteur à haut débit à flux continu pour la synthèse de produits chimiques fins. Il est conçu pour être utilisé dans les applications de R&D et de mise à l'échelle. Le système peut être utilisé pour synthétiser une gamme de composés, y compris des produits pharmaceutiques, des produits agrochimiques, des arômes et des parfums, et des polymères. L'unité dispose d'une conception de réacteur à flux continu en trois étapes, qui permet une synthèse fiable et cohérente d'une variété de matériaux. La première étape est un réacteur moulé par injection où on mélange un courant liquide chauffé contenant des réactifs et du catalyseur. Le réchauffeur surveille la température du flux et peut chauffer le flux à des températures comprises entre 50-400 ° C La deuxième étape est un récipient agité où se produit un mélange homogène pour permettre une conversion efficace et complète des réactifs. La troisième étape est un séparateur où les produits de réaction sont séparés et collectés. Concept 3 Inova Reactor est conçu avec une variété de caractéristiques de sécurité, y compris une machine de surveillance de gaz embarquée, arrêt automatisé en cas de surpression, verrouillage automatique des gaz dangereux et dispositifs d'arrêt d'urgence. Le réacteur est également équipé d'un outil de contrôle informatique, qui permet de surveiller et de contrôler les paramètres des actifs. Il peut être interfacé avec des ordinateurs ou des contrôleurs logiques programmables (PLC) pour la surveillance efficace des processus, le contrôle, l'automatisation et l'enregistrement des données. Le réacteur est également équipé d'un dispositif de chauffage électrique qui peut être utilisé pour contrôler la température de réaction. Ce chauffage est réglable dans une plage de -50 à + 250 ° C En outre, le modèle est conçu pour être utilisé avec une variété de catalyseurs et peut tenir compte de l'évolution des conditions réactionnelles et des variables de fonctionnement. Afin de réduire le temps et les efforts nécessaires au nettoyage des réacteurs, NOVELLUS Concept 3 Inova Reactor dispose de systèmes de nettoyage automatisés. Ces systèmes utilisent une combinaison de méthodes de traitement mécanique et chimique pour nettoyer automatiquement et complètement la chambre du réacteur. Le temps de nettoyage nécessaire peut être réduit jusqu'à 90 %, ce qui accélère le rythme d'achèvement du cycle de traitement. Concept 3 Inova Reactor est un outil très efficace et rentable pour la production de petites molécules et de produits chimiques fins dans la recherche, le développement et les applications à grande échelle. Sa conception en trois étapes de réacteur à flux continu, ses caractéristiques de sécurité, son équipement de contrôle informatique et ses systèmes de nettoyage automatisés contribuent à l'efficacité et à l'efficience du système et en font un choix privilégié pour de nombreuses applications.
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