Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9167157 à vendre en France

NOVELLUS Concept 3 Speed Max
ID: 9167157
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
CVD System, 12" 2006 vintage.
NOVELLUS Concept III Speed Max est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) vertical à haute performance conçu pour le dépôt de couches minces dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est une plate-forme à haute productivité, évolutive et configurable. Le réacteur est capable d'un large éventail de procédés de dépôt allant du métal au silicium polycristallin, et est capable de réaliser un taux de dépôt leader dans l'industrie. NOVELLUS Concept III Speed Max est conçu pour l'utilisateur. La plate-forme est facile à configurer, entretenir et fonctionner dans une grande variété de conditions de fonctionnement. Il dispose d'une chambre entièrement automatisée, de flux de gaz réglables et de pressions, et d'une liaison cinématique qui permet des paramètres de processus très précis et reproductibles. La chambre dispose également d'un système de distribution de gaz, qui aide à éliminer la maintenance manuelle de la vanne. NOVELLUS Concept III Speed Max offre aux utilisateurs la possibilité de déposer jusqu'à cinq matériaux différents simultanément avec un débit élevé et une sélectivité élevée. La chambre a également été conçue pour pouvoir déposer des films d'épaisseur uniforme à des débits élevés. De plus, le réacteur dispose d'un support de substrat réglable qui peut être ajusté pour s'adapter à différentes tailles de plaquettes, et comprend une zone de réaction réglable qui est ajustée avec précision pour chaque matériau pour assurer le fonctionnement de la chambre en haute performance. NOVELLUS Concept III Speed Max est une plateforme polyvalente offrant des dépôts CVD avancés pour une grande variété d'applications. Il est livré avec une suite de performances et de caractéristiques de sécurité qui en font un choix supérieur pour le dépôt de couches minces. Le réacteur offre également l'un des débits les plus élevés de l'industrie, offrant aux utilisateurs des temps de cycle plus rapides pour leur permettre d'atteindre leurs objectifs de processus plus rapidement. En outre, NOVELLUS Concept III Speed Max offre aux utilisateurs la possibilité de configurer la chambre pour offrir des recettes de dépôt personnalisées et des paramètres adaptés à leurs besoins spécifiques d'application. Dans l'ensemble, le réacteur NOVELLUS Concept III Speed Max est une plate-forme de dépôt performante, polyvalente et configurable qui convient bien à diverses applications de dépôt en couches minces. Il offre un large éventail de capacités de processus et est capable d'atteindre un haut débit et une sélectivité pour plusieurs matériaux.
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