Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9235679 à vendre en France
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NOVELLUS Concept 3 Speed Max (C3S Max) est un outil de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le traitement des dépôts chimiques en phase vapeur (CVD). Ce réacteur est conçu pour assurer un traitement rapide des matériaux en couches minces avec une excellente uniformité, et est équipé d'un certain nombre de caractéristiques différentes pour aider à la production efficace et fiable de couches minces de haute qualité. Le C3S Max comporte un certain nombre de composants de coeur, dont un étage inférieur avec un transport de substrat rotatif, sa chambre primaire, une électrode supérieure rotative, et d'autres éléments tels qu'un contrôleur. L'étage inférieur transporte le substrat entre les électrodes supérieure et inférieure afin de créer le film mince. La chambre est conçue pour être très efficace afin de maintenir un débit élevé lors des opérations de production. Il comprend également une gamme de caractéristiques telles que le dépôt de couches minces, le recuit, la gravure, le diagnostic, le contrôle de l'environnement et le contrôle des recettes. L'électrode supérieure est une partie importante de l'équipement C3S Max et est responsable de fournir l'énergie nécessaire à la création des couches minces. L'électrode est conçue pour être réglable, permettant des niveaux de puissance différents et des formes différentes du film déposé. Cela permet la production de films d'épaisseurs et de formes différentes, selon les exigences d'application. Le contrôleur est le centre de commande du système, fournissant aux opérateurs les outils nécessaires pour entrer des recettes, revoir les résultats du processus, surveiller l'unité, et ajuster les paramètres si nécessaire afin d'optimiser les performances. Le contrôleur permet également aux opérateurs d'introduire des recettes pour plusieurs substrats afin d'automatiser la machine. Dans l'ensemble, NOVELLUS C3S Max est un outil de pointe pour la production de films minces de haute performance. La combinaison de ses différents composants permet aux opérateurs de créer des films avec une excellente répétabilité et uniformité, tout en permettant une production efficace et fiable avec un minimum de temps d'arrêt. Les paramètres réglables de l'outil permettent également de régler rapidement et précisément l'épaisseur et la forme du film, ce qui permet de personnaliser l'actif pour répondre aux exigences spécifiques de l'application.
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