Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9259681 à vendre en France
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Vendu
ID: 9259681
CVD System, 12"
Wafer type: Notch
Signal tower
PEC Module
Foop: BROOKS AUTOMATION
Foop type: 3-Port
BROOKS Magnatran 7 TM Robot
TM Robot blade: Ceramic
Load lock convectron: 275 min
L/L Baratron: MKS
TM Baratron: MKS
L/L Slit valve type: VAT
Module slit valve type: SMC
PFEIFFER TM Turbo pump
MKS TM Throttle valve
VAT TM Line valve
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
ATM Robot blade: Arm metal
AWC Sensor
UI Type: LCD
EMO's: Push button
Host interface: SECS
Chaser: CRT Monitor
IOC Version: 4.72
SSD Type: C3-PDRS
(3) SMC XGT300-30-1A-X2 TM Value, P/N: 60-251903-00
Load lock value: VAT 03012-LA24-0001/0503, A-62591
Chamber A, B and C:
Chamber type: Speed max
Chamber process: ILD
ESC Type: Notch
Manometer (10T): MKS
Manometer (30T): MKS
Manometer (100m): MKS
Throttle valve: NC TBV-IQA-200-NW-50
Dual pedestal lift
LEYBOLD MAG200CT Turbo pump
ESC / Dome Cooling
Dual clean injector kit: Single RPC
Process clean type: RPC
Temperature monitoring: Dome monitor 201
ADVANCED ENERGY 10013 Navigator RF Match
VERITY EPD, P/N: 1005972
Black shield
MOOG SMART Motor
No module dry pump
Chamber A:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 5 SLM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2/CF: 0.727 / 1.5 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3000 SCCM
MFC / HORIBA / Stec (Z500, SEC-Z512MGX) / N2 / 300 SCCM
MFC / HORIBA / Stec (Z500, SEC-Z512MGX) / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Chamber B:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 5 SLM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2 / 1500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 100 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
UPC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Chamber C:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 0.5 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2 / 1500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3000 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 100 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
UPC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Missing parts:
MC3 Controller: MKS AX7670-21 3L Remote Plasma Source (RPS)
NTM Delta controller
PDX 5000 / PDX 8000 / Apex 10K Generators
Turbo pump controllers
Missing parts for chamber A, B and C:
Apex 10013 HF Generator
PDX 8000 MF Generator
PDX 5000 LF Generator
NTM
Uninterruptable Power Supply (UPS): 208 V, 50/60 Hz, 4-Wires
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 5-Wires
2007 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed Max est un réacteur avancé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu avec des capacités améliorées de formation de films de matériaux et de réduction du temps de processus. Il a été principalement développé pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs, notamment pour le dépôt de diélectriques et de métaux. Le réacteur Speed Max se compose d'une chambre de réaction, d'un équipement de distribution de gaz de procédé, d'un système de contrôle et d'une unité de chauffage. La chambre de réaction est un récipient en acier inoxydable fermé en verre équipé d'accessoires automatisés pour assurer des vitesses de dépôt précises. La machine de distribution de gaz permet de contrôler et de réguler les pressions, les températures et l'humidité des gaz. L'outil de chauffage est puissant et conçu pour maintenir une température uniforme dans toute la chambre. Le réacteur est également équipé d'un actif de contrôle avancé qui permet de manipuler avec précision des paramètres de procédé tels que la pression de procédé, la température, le débit de gaz, ainsi que les taux de dépôt. La surveillance en temps réel des conditions de la chambre, y compris la température, la pression et le débit de gaz, est également possible grâce à ce modèle. Le Speed Max dispose également d'un dépôt par lots unique qui est conçu pour minimiser le temps de dépôt des matériaux. Le réacteur peut être préprogrammé pour déposer des films en lots prédéterminés, permettant une production automatisée plus rapide. De plus, l'équipement peut être configuré avec plusieurs supports de substrat pour accélérer le processus. Le réacteur a également été conçu pour offrir une répétabilité supérieure du procédé, ce qui est essentiel pour assurer une formation de film satisfaisante. En outre, le logiciel avancé du système garantit des résultats de processus reproductibles quelles que soient les conditions environnementales. Enfin, le logiciel permet également de diagnostiquer et d'optimiser les éventuels problèmes de processus. Concept 3 Speed Max est un réacteur puissant et très avancé et incontournable pour les fabricants de semi-conducteurs. Il promet le processus de dépôt le plus précis et le plus rapide avec des résultats répétables. Le Speed Max offre maintenant un avantage concurrentiel à ceux de l'industrie qui recherchent les méthodes de dépôt les plus modernes.
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