Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9281511 à vendre en France

NOVELLUS Concept 3 Speed Max est un réacteur à plasma de nouvelle génération, conçu pour les procédés avancés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise la technologie de pointe pour fournir une grande uniformité et des capacités de débit élevé pour répondre aux exigences strictes de la fabrication de dispositifs avancés. Concept 3 Speed Max utilise les dernières avancées de la technologie de dépôt plasma à basse pression (DPL) pour fournir des rendements et une répétabilité de processus élevés. La conception et l'ingénierie avancées de NOVELLUS Concept 3 Speed Max permettent d'améliorer l'uniformité du film déposé sur l'ensemble du substrat. Concept 3 Speed Max utilise la technologie des sources ionisées variables pour contrôler le processus de dépôt, ce qui permet un degré plus élevé d'uniformité et des processus plus efficaces. En outre, NOVELLUS Concept 3 Speed Max intègre un générateur de plasma haute vitesse, permettant des processus plus efficaces avec des débits plus élevés. La conception permet également à l'équipement de scanner avec précision et de s'ajuster aux différentes hauteurs de substrat et topologies de surface pour minimiser l'ombre. Le scanner à grande vitesse permet un balayage plus rapide de l'ensemble du substrat pendant la phase de dépôt, augmentant le débit et l'uniformité. Le résultat final est une augmentation du taux de production des appareils. De plus, le système de distribution de gaz du concept 3 Speed Max assure un contrôle précis du processus de dépôt, offrant des propriétés de surface uniformes sur l'ensemble du substrat. Les capacités de surveillance in situ avancées de NOVELLUS Concept 3 Speed Max garantissent un contrôle précis des processus. L'unité de surveillance avancée comprend une caméra embarquée avec microscope intégré pour observer la surface du substrat pendant tout le processus de dépôt. Cette machine de surveillance fournit des informations détaillées sur le procédé et la capacité de détecter tout problème de procédé au cours de la phase de fabrication, minimisant la variabilité du procédé et optimisant les rendements du procédé. Concept 3 Speed Max intègre également un processus robuste de nettoyage et de préparation de substrat avec la technologie de préhension automatique des plaquettes pour améliorer le placement de la sonde de substrat. Ce robot adaptatif à plusieurs stations assure un positionnement précis de la sonde et une singulation cohérente des plaquettes. Le contrôle avancé du procédé comprend une bibliothèque complète de recettes chimiques et une correction et une évaluation en temps réel pour réduire la variation de substrat à substrat. De plus, le contrôle avancé du procédé assure une épaisseur de film uniforme sur l'ensemble de la plaquette. NOVELLUS Concept 3 Speed Max est un réacteur à plasma de pointe, conçu pour améliorer le rendement et l'uniformité des procédés tout en augmentant les capacités de débit. Les technologies de pointe utilisées dans l'outil, y compris la source ionisée variable, le générateur de plasma à grande vitesse, la surveillance in situ avancée, le contrôle avancé des processus et la technologie de pince automatisée des plaquettes, fournissent une solution optimale pour la fabrication avancée des appareils.