Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9389741 à vendre en France

NOVELLUS Concept 3 Speed Max est un équipement innovant utilisé dans la fabrication de circuits intégrés composés de matériaux à couches minces. Ce réacteur est conçu pour fournir le plus haut niveau de performance et de fiabilité dans les couches de circuits à semi-conducteur d'oxyde métallique (MOS) avec des couches extrêmement minces pour des applications telles que les fuites ultra-faibles, la mémoire noyée et d'autres composants à haute performance. Concept 3 Speed Max dispose de trois modules distincts qui peuvent fonctionner indépendamment ou en combinaison. Les trois modules sont un module RIE (Reactive Ion Etch), un module CVD (Chemical Vapor Deposition) et un module PECVD (Plasma Enhanced CVD). Le module RIE est destiné à la gravure de couches d'oxyde métallique de formes et de motifs désirés, pour créer des caractéristiques spécifiques de couches minces utilisées dans la fabrication de circuits. Le module CVD permet de déposer divers types de matériaux en couches minces pour créer des surfaces lisses, illustrer des motifs et contrôler l'épaisseur des matériaux. Le module PECVD est utilisé pour la gravure rapide et le dépôt de matériaux en couches minces, ainsi que pour le marquage. NOVELLUS Concept 3 Speed Max dispose de systèmes avancés de contrôle et de surveillance des processus qui permettent aux utilisateurs d'optimiser leurs paramètres de processus, de permettre une meilleure répétabilité et de réduire le temps nécessaire au développement des processus. Il dispose également d'un générateur de plasma radiofréquence (RF) qui permet aux utilisateurs de traiter simultanément différents niveaux de diélectriques intercalaires (ILD). Le générateur de plasma améliore la vitesse et la précision des processus de gravure et de dépôt. Concept 3 Speed Max est le seul équipement capable de fournir des performances de fuite ultra-faibles avec des couches de couches minces maximales. Il est idéal pour la production de circuits haute performance, et il a une répétabilité de 2 sigma sur la production. Il est fait de matériaux de haute qualité et a une longue durée de vie. Son énergie et ses ressources sont gérées de manière optimale pour minimiser l'impact environnemental lié à son exploitation. NOVELLUS Concept 3 Speed Max est le seul système de gravure et de dépôt qui peut combiner les processus de gravure et de dépôt avec des performances de fuite extrêmement faibles dans la production de couches de circuits MOS. Il offre des performances et une fiabilité de haute qualité, et des avantages économiques pour la production de composants de haute performance. Grâce à ses systèmes avancés de contrôle et de surveillance des processus, les utilisateurs peuvent maximiser l'efficacité de ce réacteur innovant tout en minimisant son empreinte environnementale.