Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9410799 à vendre en France
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NOVELLUS Concept 3 Speed Max est un réacteur avancé de dépôt chimique en phase vapeur pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir des performances élevées et un débit élevé pour soutenir les technologies semi-conductrices les plus avancées. Le réacteur utilise un équipement de bande multifréquence à deux étages unique pour assurer un haut niveau d'uniformité de chauffage du substrat, une meilleure uniformité du plasma et une meilleure répétabilité du procédé. Concept 3 Speed Max a une architecture modulaire, ce qui lui permet d'être configuré selon différentes tailles de plaquettes et les exigences de processus. Le réacteur est capable de maintenir un large éventail de flux gazeux, de températures et de pressions, permettant un contrôle optimal du processus de dépôt. De plus, le système est équipé d'une compensation de température en temps réel pour assurer un contrôle uniforme du remplissage et de la densité des trous, ainsi que d'une technologie de transfert automatisé des plaquettes qui réduit la contamination croisée et améliore les temps de chargement et de déchargement. NOVELLUS Concept 3 Speed Max dispose d'une unité de détection de point d'extrémité entièrement automatisée, offrant des temps de cycle plus rapides tout en améliorant la répétabilité. Le réacteur dispose également d'une machine d'acquisition de données qui permet l'analyse de données en temps réel et l'optimisation des processus. L'outil utilise également un actif de réduction des chocs thermiques pour améliorer l'uniformité de la surface frontale et prévenir les points chauds. Cela permet de réduire les défauts induits par la contrainte et d'améliorer la fiabilité à long terme du dispositif. Toutes ces caractéristiques font du Concept 3 Speed Max l'un des réacteurs les plus avancés disponibles. Le réacteur offre un niveau de performance et de répétabilité inégalé, ce qui permet une production plus rapide, des rendements plus élevés et une meilleure fiabilité. En outre, il est conçu pour être entièrement évolutif et configurable selon les besoins de chaque utilisateur. NOVELLUS Concept 3 Speed Max est une solution de dépôt puissante qui peut profiter à tout fabricant de semi-conducteurs à la recherche de résultats de haute qualité et performants.
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