Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9170858 à vendre en France

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT est un réacteur de pointe pour la formation de films ultra-minces sur des substrats. Ce réacteur est basé sur une approche à 3 vitesses et est conçu pour raccourcir le processus CVD jusqu'à 50 %. Il est capable de former les films minces et les étapes en quelques secondes seulement, ce qui permet d'économiser du temps et de l'argent. Concept 3 Le réacteur NEXT est composé de trois sources indépendantes et d'une tête de tourelle. Les trois sources sont l'hélium, l'azote et l'argon. La tête de tourelle est équipée de trois ports de confinement électrostatique, deux pour les sources plasmatiques d'ionisation appliquées et un pour la neutralisation des espèces. La source de plasma améliore la vitesse de réaction et les propriétés du film. Les principaux avantages du concept à trois sources sont l'épaisseur uniforme du film, la réduction des dommages thermiques et le contrôle complet des paramètres de dépôt. L'approche à trois vitesses du cycle fonctionne en modifiant la pression, la température et la concentration de réactifs. Ceci permet la formation de couches très minces ou d'étapes dans des temps de dépôt courts. Le cycle à trois vitesses assure un dépôt uniforme des films sur l'ensemble du substrat. Ceci est rendu possible grâce à la répartition équilibrée en température des trois sources, à la diffusion accrue des réactifs et à la faible dégradation thermique des substrats sensibles. Le réacteur NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT a été conçu pour augmenter le débit tout en améliorant la qualité globale de la formation du film. Il a une capacité de débit élevée et permet une réponse plus rapide aux demandes changeantes dans un environnement de production. De plus, il offre un meilleur contrôle du procédé, une épaisseur de film uniforme et une uniformité améliorée sur la surface de la plaquette. Dans l'ensemble, le réacteur Concept 3 Speed NEXT est un outil puissant et flexible pour créer des films très uniformes et des étapes dans la production de dispositifs avancés. Il offre des économies de coûts et de temps qui ne peuvent être appariées par d'autres technologies. Cela le rend idéal pour un large éventail d'applications qui nécessitent une précision et une fiabilité extrêmes.