Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9203466 à vendre en France
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Vendu
ID: 9203466
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
CVD System, 12"
System information:
Process: STI/IMD
Slit valve type: SMC L-Motion
TM Turbo pump model: PFEIFFER TMH261 PXS
TM Throttle valve model: MKS
TM Baratron model: MKS
Loadlock baratron: MKS
IOC Version: V 4.6
TM Robot type: Mag 7
TM Robot blade: Ceramic
Wafer sensor: Existence
Single tower
Front monitor: 12" LCD
Fab
EMO's: Push button
Host interface: GEM
ATM Robot: ATR8
VAC Robot: MAG 7
Loadlock valve: SMC
ATM Loadlock valve: VAT
Pod loader: BROOKS Fixload 6M
Module A / B / C:
Chamber type: NeXT
Chamber Process: SIT/IMP
Process clean type: NPP RPC
Module controller: MC3
Module turbo pump: LEYBOLD MAGW2000CT
Pendulum valve: MKS
Temperature monitoring: NTM500
HF Generator: AE 10K
MF Generator: AE PDX_5000
LF Generator: AE PDX_8Q00
RF Match: AE Navigator 10013 U
IOC Version: V4.72
Dual clean injector kit
Injector type: Star short
Louvered screen
Pedestal lift type: Servo motor
Foreline type: Large
EPD
Black shield
Module A:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS SLA7950S
MFC2 SiH4 200 sccm BROOKS SLA7950S
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS GF125C
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC6 Ar 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
Module B:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS GF125C
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS GF125C
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
Module C:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS SLA7950S
MFC2 SiH4 200 sccm BROOKS SLA7950S
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS GF125C
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS GF125C
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS GF125C
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC6 Ar 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
UPS Power: 120 V, 3¢, 3 Wires
Power: 208 V, 3¢, 5 Wires
2005 vintage.
Le réacteur NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT est un outil de pointe de planarisation chimique et mécanique (CMP) conçu pour fournir des avancées significatives en matière de contrôle du polissage, d'efficacité et de répétabilité. Concept 3 Speed NEXT intègre la technologie PECVD pour le dépôt rapide et un équipement de polissage rapide et unique pour une meilleure performance. Ce système est capable de fournir un débit accru, une meilleure uniformité et une répétabilité supérieure par rapport aux systèmes CMP classiques. Le mécanisme avancé de positionnement en mouvement linéaire de NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT permet des opérations de polissage plus rapides et plus précises. Cela le rend idéal pour des séries de haute production avec une topographie délicate. La conception unique réduit également considérablement les dommages liés au processus de polissage. Concept 3 Speed NEXT dispose également d'une unité de stabilisation électrothermique qui maintient une température uniforme sur la surface d'une plaquette pendant les opérations de CMP, assurant ainsi des résultats de polissage cohérents. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT est équipé d'un certain nombre de systèmes de contrôle avancés pour garantir des performances optimales. Ceux-ci comprennent un mécanisme d'asservissement en boucle fermée qui règle automatiquement la vitesse, la force et la pression de polissage, ainsi qu'une machine de compensation dynamique de la pression et une capacité de nettoyage contrôlée par la température. La chambre réactive permet également d'ajouter des promoteurs chimiques et des inhibiteurs pendant le processus de polissage pour améliorer les résultats CMP. Concept 3 Speed NEXT dispose également d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, tels qu'un élément chauffant en céramique et une capacité de charge automatique de la cassette de wafer pour réduire les blessures potentielles. Des diagnostics avancés et des outils de maintenance prédictive permettent de s'assurer que NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT est toujours en état de pointe. En résumé, Concept 3 Speed NEXT est un outil de polissage chimique et mécanique fiable et à la fine pointe de la technologie. Ses caractéristiques avancées offrent un débit, une uniformité et une répétabilité supérieures à celles des systèmes CMP traditionnels. De nombreux systèmes de contrôle sophistiqués garantissent des performances optimisées et des résultats fiables. De plus, les caractéristiques de sécurité et les outils d'entretien prédictif réduisent encore le risque de blessure.
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