Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9235680 à vendre en France

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) spécialement conçu pour les applications avancées de semi-conducteurs. Il fournit la solution ultime à haut débit pour le silicium polycristallin, l'oxyde de silicium et d'autres applications. Le réacteur Concept 3 Speed NEXT intègre les dernières technologies de pointe de NOVELLUS, y compris la livraison brevetée de cassettes à pales, l'automatisation robotique et les capacités de plusieurs zones de température. Sa conception innovante garantit une qualité de fabrication supérieure et un bon rapport coût-efficacité. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT comprend une chambre à trois vitesses basse pression, une chambre de préchauffage et une boîte à gaz avec vanne 4 voies. La chambre basse pression est équipée d'éléments de chauffage et de refroidissement de haute qualité, d'une dérive thermique ultra basse et d'un contrôle basse pression. Un port revêtu de métal permet un chargement et un déchargement rapides du substrat. La chambre de préchauffage fournit un contrôle supplémentaire de la température pour assurer les taux de dépôt les plus élevés. Le système offre un contrôle précis de la température via un mandrin chauffé/refroidi multi-zones et des parois chauffées/refroidies. Il est conçu pour assurer un contrôle précis de l'épaisseur du film, de la granulométrie et de l'uniformité des procédés. Il offre également un débit à basse pression de gaz précurseurs, y compris le silane, l'hexafluorure de soufre et l'hélium. La vanne à 4 voies au centre de l'unité permet une livraison rapide et précise des précurseurs et un temps de réaction rapide. Concept 3 Speed NEXT dispose également d'une multitude de systèmes de données avancés conçus pour atteindre un débit maximal. Son bras robotique rapide et fiable assure un positionnement rapide et efficace des plaquettes. Son haut niveau d'automatisation permet une programmation rapide et facile des recettes pour faire des dépôts en millisecondes. Dans l'ensemble, NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT est une machine réacteur extrêmement avancée conçue pour répondre aux exigences des applications semi-conductrices les plus avancées. Il offre une précision, une vitesse et une uniformité de processus inégalées, ce qui en fait le choix idéal pour les fabricants d'aujourd'hui.