Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9294439 à vendre en France

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT est un réacteur de haute vitesse et de précision pour le dépôt de métal et d'autres matériaux à couches minces. L'équipement est conçu pour être utilisé dans les industries des semi-conducteurs, des MEMS et des cellules solaires, et est capable de fournir des métriques avancées pour les applications les plus exigeantes. Concept 3 Speed NEXT est basé sur une source de plasma à basse température, à couplage inductif (ICP), qui dispose d'un générateur de plasma à basse pression à base d'hydrogène qui permet le dépôt d'une gamme d'éléments métalliques. Ce système fonctionne entre 0,6 et 0,7 mTorr, ce qui permet un contrôle de processus supérieur et la flexibilité. En outre, la source du PCI augmente l'uniformité des processus en raison de son flux plasmatique de forme gaussienne, ce qui réduit les possibilités de non-uniformité. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT dispose d'un design compact et modulaire pour permettre la flexibilité lors du travail avec une variété de tailles de produits. L'unité dispose d'une machine de distribution de gaz qui équilibre le rapport des précurseurs pour maintenir un taux de croissance uniforme du film. La fonction de localisation centrale automatisée de l'outil corrige tout désalignement qui peut survenir en raison du léger mouvement du produit pendant la production. Concept 3 Speed NEXT a la capacité de traiter avec une grande couverture pelliculaire à travers diverses structures de produits grâce à sa technologie de dépôt « à injection directe », qui recouvre à plus grande échelle avec une seule source d'injection. Ceci permet de façonner des couches métalliques discrètes avec des géométries complexes. Le concept intègre un atout de répétabilité de taille supérieure pour une précision optimale de répétition de tranche à tranche jusqu'à 100 diamètres nominaux de 25 microns. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT est construit avec des fonctions de sécurité et de contrôle de pointe. Ses récipients blindés à l'azote et ses dispositifs de sécurité intelligents protègent le personnel de toute matière dangereuse. Le modèle est également conçu pour minimiser les temps d'arrêt du processus en raison de ses capacités avancées de surveillance de la maintenance et de diagnostic. Cette technologie de pointe fournit l'ultime en vitesse et précision. Des résultats de haute qualité et une uniformité de couche supérieure sont réalisables grâce aux contrôles de dépôt avancés de Concept 3 Speed NEXT. L'équipement est conçu pour fournir un processus de dépôt fiable et précis afin de maximiser le rendement et le débit tout en maintenant les coûts bas. NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT est la solution idéale pour toute application exigeante de revêtement en couches minces.