Occasion NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT #9258492 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactor est un équipement sous vide modulaire à haut débit conçu spécifiquement pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce système comprend la chambre du réacteur, une unité de pompage et le module de traitement. La chambre du réacteur est un cadre unique en acier à moteur pas à pas, conçu pour se déplacer vers le haut, vers le bas ou autour tout en fonctionnant. Il dispose d'une machine à loadlock modulaire à haut débit qui peut être configurée pour de multiples applications, y compris le dépôt, la gravure et la modification de surface. L'outil de pompage est composé d'une pompe à vide, d'un papillon, de lignes de gaz et de filtres. Il possède un actif de dialyse à haut débit qui permet des opérations à basse pression et à haut débit. La pompe à vide a une conception multi-étages qui assure un fonctionnement propre fiable et efficace, tandis que le papillon permet le réglage de la pression du modèle pour une performance optimale. Il dispose également d'un régulateur thermique programmable et de lignes de gaz qui permettent un contrôle précis du débit de gaz et de la température. Le module de procédé est le composant le plus important du réacteur CONCEPT 3 Speed XT. Il comprend une chambre de procédé, une zone d'isolement, une alimentation électrique, l'automatisation des procédés et des systèmes cryogéniques. La chambre de procédé dispose d'un contrôle de procédé homogène propriétaire pour l'uniformité des structures chimiques et cristallines. Il dispose également de matériel, de logiciels et de fonctions automatiques d'automatisation de robot pour le traitement à haut débit. La zone d'isolement isole les composants sensibles de l'environnement actif de la chambre, assurant le fonctionnement continu de l'équipement. L'alimentation fournit une tension continue de haute précision pour un fonctionnement efficace. Enfin, le système cryogénique réduit la chaleur et améliore l'uniformité du procédé. Dans l'ensemble, NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactor est une unité de fabrication de semi-conducteurs modulaires évolués avec des caractéristiques uniques pour le traitement à haut débit. Sa machine à loadlock modulaire est facilement configurable pour accueillir diverses applications, tandis que son outil de pompage est très efficace et fiable. Son module process est la pièce maîtresse de cet atout, avec un contrôle efficace et précis des structures chimiques et cristallines. Ce modèle est idéal pour tout procédé de fabrication de semi-conducteurs, offrant un traitement rapide et fiable à très haut débit.