Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed XT #9382870 à vendre en France

ID: 9382870
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
CVD System, 12" (3) Chambers Does not include Hard Disk Drive (HDD) Missing parts 2006 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor est une technologie révolutionnaire pour la gravure lourde et le dépôt CVD très avancé. La série X est un équipement breveté et modulaire conçu pour permettre un temps de traitement rapide, une uniformité supérieure et des rendements accrus. Il est parfait pour une production à haut volume avec une grande variété de substrats. Avec sa configuration à trois vitesses, sa conception robuste et son contrôle supérieur des processus, le Concept 3 Speed XT Reactor offre une précision et une reproductibilité sans précédent pour les processus les plus exigeants. Le réacteur est très polyvalent et capable de fonctionner avec des méthodes à la fois humides et PECVD. Il dispose d'une configuration en cage ouverte qui permet une plus grande uniformité de processus et des coûts d'exploitation inférieurs à ceux de ses prédécesseurs. Il est également économe en énergie grâce à son système intégré de transfert de chaleur, qui réduit la production de chaleur et maximise l'efficacité de l'unité. Le contrôle intelligent intégré de l'outil permet une manipulation efficace des recettes complexes et une configuration rapide des processus. NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor offre la plus haute capacité de manutention des matériaux réfléchissants et absorbants de sa catégorie avec une machine de nettoyage automatique qui réduit le risque de contamination et améliore la productivité. Sa fonction Auto-shim permet de régler facilement le niveau de surface de l'outil pour répondre aux exigences changeantes du processus, tandis que l'outil de manutention du gaz utilise les capteurs intégrés pour le contrôle avancé du débit de gaz. Concept 3 Speed XT Reactor fournit aux substrats de produits des niveaux de particules faibles de pointe dans l'industrie avec des fonctionnalités avancées de surveillance des processus. Grâce à son contrôle étroit de la pression et de la température, ce réacteur garantit un haut niveau de qualité et de fiabilité du procédé, ainsi qu'un rapport rendement/coût le plus élevé sur toute sa gamme de substrats. Il offre également un haut degré de flexibilité, permettant une reconfiguration facile pour adapter le processus de production pour chaque client et leur application. NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactor est le choix idéal pour une production à haut volume avec des exigences exigeantes. Sa conception robuste et sûre, son atout de transfert de chaleur intégré et ses fonctions avancées de contrôle des processus garantissent une performance et une uniformité maximales. Le modèle Auto-shim et gaz-manutention permettent une installation plus rapide et une manipulation plus efficace de plusieurs substrats et recettes complexes. En outre, sa conception à faible teneur en particules garantit les meilleurs rendements et la meilleure qualité de procédé.
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