Occasion NOVELLUS Concept 3 Speed #9364308 à vendre en France

NOVELLUS Concept 3 Speed est un réacteur hautement innovant de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour augmenter les capacités de traitement. C'est un outil révolutionnaire pour la fabrication de circuits intégrés et de dispositifs semi-conducteurs. Concept 3 Speed utilise une conception de cathode monobloc rotative et fixe, lui permettant d'offrir une excellente uniformité et vitesse de dépôt. Son architecture avancée et flexible offre une intégration facile et une coexistence maximale avec tous les systèmes NOVELLUS. Ce réacteur CVD est livré avec un module d'automatisation évolutif qui offre des niveaux élevés de mise en œuvre, et des résultats de traitement de qualité supérieure. NOVELLUS Concept 3 Speed dispose d'un panneau de gaz à haut débit pour améliorer la productivité. Il dispose de deux têtes de douche inclinées réglables, améliorées par une chambre de pré-mélange qui offre un contrôle optimal de la température, de la pression et de la variance du débit de gaz. Cette technologie peut être exploitée avec un mélange de gaz en ligne ou en flux croisé, offrant une excellente uniformité des matériaux. Concept 3 Speed offre également une meilleure stabilité du procédé avec sa source de chaleur intégrée. Cet équipement de source de chaleur (HSS) dispose d'une plaque de diffusion tri-laminaire avancée pour une distribution uniforme de la chaleur, ce qui permet un coût optimal du matériau. La plaque poussoir auto-nettoyante unique de NOVELLUS Concept 3 Speed élimine la possibilité d'accumulation de particules et fournit un flux de processus cohérent. De plus, la qualification automatisée des processus hors ligne permet d'ajuster rapidement les revêtements et d'optimiser les caractéristiques d'interface film/substrat. Les performances du Concept 3 Speed sont améliorées par son système avancé de manipulation des plaquettes multi-positions (PWMS). Cette unité supporte la couture des plaquettes et le chargement des anneaux, offrant une flexibilité dans la manipulation des plaquettes et des précurseurs. De plus, le PWMS améliore la vitesse de la machine en réduisant le temps de manipulation du substrat. NOVELLUS Concept 3 Speed offre des capacités inégalées, avec une meilleure durabilité du produit, une flexibilité accrue du processus et une productivité élevée. C'est une solution de réacteur CVD rentable et fiable pour les fabricants de dispositifs semi-conducteurs.