Occasion NOVELLUS Concept 3 Triple Speed #9237847 à vendre en France
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ID: 9237847
Taille de la plaquette: 12"
HDPCVD System, 12"
Main mini environment platform
(3) Loader systems: ASYST IsoPort
Handler system: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Wafer shape: SNNF
(3) Exhausts: Bottom feed
Cooling water: PCW
User interface Windows NT
Mainframe:
Control system: Ethernet
MF FAC Routing: Front, Through-the-floor
Front end robot: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Load lock & Front end option:
Load locks: C3 WTM Standard SWLL
SECS / GEM
Signal tower
Pod type: 25 Wafers (2) FOUP
BROOKS AUTOMATION Fix load 6M
System controller:
Controller type: Enhanced (NT) with HSMS & GEM
Controller UPS: YES -FAC UPS INF
Electrical INF: Bottom feed AC cables
System EMO type: Push, Turn to release style
EMO Guard ring option
Transfer chamber:
(3) PEC Stations
Transfer chamber manual lid lift
Robot blade: Dual blade with minimum contact
Robot type: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Pumps:
Fore-line heat trace: YES-105C
Chamber A / B / C:
Chamber type: SPEED HDP ILD
Process kit: NanoFill II
ESC: HEX ESC
TEMP Monitor: ATC NTM Delta
Manifold D orifice: 0.020" For long injector
Manifold G orifice: 0.028" For short injector
RF Generator HF: ADVANCED ENERGY APEX 10 kW
RF Generator LF: ADVANCED ENERGY PDX 8000 8 kW
Pedestal heights: 1.35"
Dome matching network: High power dome
Turbo screen: Louvered screen
(2) Turbo pumps: LEYBOLD MAG2000
Pressure controller:
Throttle valve: MKS 153D
Manometer: MKS 10 Torr / 100 mT
Pressure gauge: DATUM 2000 Dual CH
Gate valve: VAT Pendulum valve
Slit valve o-ring: CHEMREZ
Nozzle: (6) Long & (24) Short injectors
Missing parts:
(3) 05-363589-00 / Retrokit, coulombic ESC
(3) 796-212642-001 / VLV, VAC, VAT, Bonded K910
(3) 04-353972-00 / KIT, Pendulum valve, ISOLA
Line voltage: 208 VAC / 60 Hz
CE Marked.
NOVELLUS Concept 3 Triple Speed Reactor est un système de dépôt chimique à haute performance en phase vapeur (MOCVD) conçu pour la vitesse de dépôt et l'uniformité de dépôt les plus élevées. L'alimentation à trois niveaux permet un contrôle total et équilibré de la pression du procédé, de la température et du débit de réactif, produisant des dispositifs multicouches haut de gamme à semi-conducteurs avec d'excellentes performances. La machine est équipée de trois tubes en quartz de haute qualité et dispose d'un grand espace ouvert pour un accès facile à la zone de croissance. Les trois moteurs sont montés dans le même plan pour assurer un écoulement équilibré et uniforme des gaz de procédé. La conception de la chambre fermée aide à maintenir la température et la pression à l'intérieur du réacteur. L'alimentation indépendante brevetée Concept 3 Triple Speed permet un contrôle rapide et précis des dépôts en contrôlant indépendamment les températures de chaque tube de dépôt. Le fonctionnement entièrement automatique du réacteur NOVELLUS Concept 3 Triple Speed et son puissant système de contrôle des dépôts garantissent un processus conforme à la batterie avec une excellente répétabilité et un temps d'arrêt minimal. L'alimentation à plusieurs niveaux permet de maintenir les niveaux de température et de pression requis, tandis que le logiciel avancé de contrôle des processus fournit des capacités détaillées de surveillance et de contrôle des processus. L'interface utilisateur du panneau avant est intuitive, permettant un fonctionnement facile et un dépannage. Concept 3 Triple Speed utilise un débitmètre à quartz basse pression de haute précision pour une livraison de gaz efficace et un contrôle précis du processus de croissance. Les alimentations électriques comportent plusieurs modes de fonctionnement, permettant aux opérateurs de choisir parmi les modes de dépôt à vitesse unique, double ou triple, ainsi qu'entre le contrôle linéaire et logarithmique pour une livraison précise des gaz de procédé. De plus, la partie inférieure de la chambre en acier inoxydable permet un accès facile aux échantillons, contribuant à améliorer le débit du dépôt et à réduire le temps nécessaire à la collecte des échantillons. Le résultat est une alimentation efficace, fiable et précise à trois niveaux qui fournit des résultats optimaux, à chaque fois.
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