Occasion NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9246247 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9246247
System
Gas configuration:
Gas / MFC Type / Size (SCCM) / Filter (P/N)
SiH4 / BROOKS / 1500 / 1-888-554-FLOW
N2 / BROOKS / 10000 / 1-888-555-FLOW
He / BROOKS / 20000 / 1-888-556-FLOW
NH3 / BROOKS / 1000 and 10000 / 1-888-557-FLOW
N2O / BROOKS / 2500 / 1-888-558-FLOW
N2O / BROOKS / 1500 / 1-888-559-FLOW
O2 / BROOKS / 30000 / 1-888-560-FLOW
NF3 / BROOKS / 1000 and 10000 / 1-888-561-FLOW
N2 / BROOKS / 10000 / 1-888-562-FLOW
Ar / BROOKS / 10000 / 1-888-563-FLOW
Pressure control:
Chamber 627A11TBC, 10T (P/N: 27-10343-00)
Loadlock 750B11BTCE2GK, 10T (P/N: 27-126062-00)
Manifold A filter MPUJ180 (P/N: 22-169887-00)
Manifold B filter GLFPF3000VMM4 (P/N: 22-00006-00)
RPC Isolation valve
RPS AX7645RH-01AX7645 (P/N: 27-282770-00, 27-277368-00)
Detector
Main A valve SWAGELOK (P/N: 22-043786-00)
Main B valve SWAGELOK (P/N: 22-295147-00)
Valve:
Pendulum valve (P/N: 63-323815-00)
Loadlock isolate valve XLA-25-M9
Slit valve door XGT300-30-1A-32 (P/N: 60-251903-00)
VAT Door 07512-UA24-0002 (P/N: 60-123331-00)
RF Related:
HF Generator APEX 5513 (P/N: 27-284656-00) 13.56 MHz
HF Match ADVANCED ENERGY Navigator-10013 (P/N: 27-296376-00)
LF Generator 350-450 kHz
LF Match LFMN8/5 (P/N:27-295862-00)
RF Distribution board (P/N: 02-307707-00)
SHD Distribution board (P/N: 02-280915-00)
Temperature control:
WATLOW PYLM-C005-0727
Temperature controller 20-1000500-409N008-1
Water switch 50-3NB-AAJ6
PED1 S1-1324-112N003
PED2
PED3
PED4
Wafer handler:
Load port FIXLOAD TM 6M (P/N: 63-292227-00)
FI Robot BROOKS ATR8 (P/N: 121669)
LTM Robot (P/N: 15-256077-01 REV A)
Load lock pedestal
PED1 Lift pin actuator
Spindle C-2030D010299-0608 (P/N: 02-275637-00)
Pedestal MCA ball
Pedestal MCA PIN
LL Pedestal actuator
Carrier ring
System control:
System controller MC3
Motion controller MC3
Missing parts:
Loadlock pump
Isolation
Coolpad
Coolpad actuator.
NOVELLUS Concept 3 Vector Express est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) monobloc, conçu pour fournir un dépôt pelliculaire précis et répétable de matériaux de dispositifs semi-conducteurs. Le réacteur est capable de déposer un large éventail de matériaux, y compris des oxydes, des nitrures, des métaux et des diélectriques, et est idéal pour la production de dispositifs modernes et performants. Concept 3 Vector Express est basé sur deux chambres de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) interconnectées, chacune ayant son propre dispositif de chauffage et de pulvérisation. Les suscepteurs peuvent être déplacés individuellement et indépendamment vers et depuis la zone de chauffage, fournissant une fenêtre de processus réglable. Le Vector Express peut également comprendre jusqu'à trois précurseurs, qui peuvent être injectés dans la chambre pour déposer différentes couches, le tout avec un seul procédé. NOVELLUS Concept 3 Vector Express est également capable de dépasser 1,3 nanomètre uniformité des structures oxyde, nitrure et à grille noyée, permettant la production de transistors ultra-petits de nouvelle génération et de dispositifs semi-conducteurs de haute performance. L'équipement dispose d'une haute transmission, radiographie Qualité améliorée Conception, offrant un compactage d'oxyde supérieur et l'épaisseur du film uniformité, ainsi que la durée de vie accrue des composants critiques. Concept 3 Vector Express comprend également un certain nombre de fonctions de sécurité, assurant à la fois la protection de l'opérateur et du système. Une fonction « jog » unique, par exemple, permet de sélectionner rapidement différentes recettes de processus à partir du portail de programmation de l'unité, ainsi que de fournir une gamme d'options de processus. En outre, la taille auto-ajustable de la plaquette de la machine peut compenser les variations de la taille ou de la forme du substrat, réduisant la variabilité. Enfin, le Vector Express possède une fonction d'autodiagnostic, qui permet d'identifier les subtilités dans les données du processus et de prendre des mesures correctives avant que le processus ne devienne hors spécifications. Cela améliore à la fois la répétabilité et la fiabilité du procédé, ce qui se traduit finalement par des rendements plus élevés. En résumé, NOVELLUS Concept 3 Vector Express est un réacteur CVD de pointe pour la mise en oeuvre de procédés avancés de dispositifs semi-conducteurs. Avec ses suscepteurs programmables avec précision, ses composants de qualité aux rayons X de haute précision et sa fonction de jog unique, le Vector Express est conçu pour la production efficace des dispositifs à semi-conducteurs les plus petits, les plus fiables et les plus performants d'aujourd'hui.
Il n'y a pas encore de critiques