Occasion NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9169845 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur multi-axes (MPCVD) conçu pour le dépôt de nanostructures complexes. Il est idéal pour les matériaux avancés et les applications d'appareils qui nécessitent une plus grande uniformité et la conformité des matériaux. Le Vecteur comprend deux axes indépendants indépendants pour s'assurer que les mêmes conditions de processus sont appliquées à des substrats de plus grande taille. L'approche à deux axes permet d'assurer l'uniformité et la cohérence du processus de gravure sur l'ensemble du substrat, d'où une conformation uniforme et des caractéristiques électriques, optiques ou mécaniques souhaitables. Le coeur du Vecteur est sa chambre et le système de transfert linéaire à deux axes. La chambre est contrôlée en pression et la température est contrôlée par des éléments chauffants et des capteurs de température de mandrin. Le système de transfert comprend une paire de moteurs linéaires, ainsi qu'un étage de translation, pour positionner et déplacer précisément la plaquette selon trois axes avec une très grande précision. Dans la chambre, les réacteurs et les grappes à gaz travaillent ensemble pour fournir des procédés de pulvérisation et de gravure de haute précision. En PVD, un plasma est utilisé pour créer une décharge électrique sur les matériaux cibles en cours de traitement. Cette décharge électrique sert à évaporer le matériau du matériau cible qui se dépose alors sur le substrat désiré. Dans le procédé de gravure, des gaz sont introduits dans la chambre, qui réagissent avec le matériau cible et créent une fine couche de protection ou des motifs de gravure sur le substrat. Le Vector comprend également plusieurs outils de processus, tels que les chemises de chambre et les chemises de processus, qui fournissent une uniformité et une conformité supplémentaires au processus de gravure. Ces outils de procédé préviennent également la contamination à l'intérieur de la chambre et permettent un cyclage thermique rapide. La conception de Vector permet une répétabilité élevée, de faibles niveaux de défaut, compatible avec le traitement MEMS et la biocompatabilité. Son système d'imagerie à haute résolution et à faible défaut permet la surveillance et le contrôle des processus. Le Vector assure un cyclage thermique rapide et maintient une grande uniformité tout au long du processus, tout en maintenant un faible coût total de possession.