Occasion NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9191085 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector est un réacteur de dépôt à haute performance utilisé dans des applications de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il dispose de plusieurs chambres de procédés intégrées qui permettent l'infiltration chimique en phase vapeur à basse pression (CVI), CVD haute pression, dépôt de couche atomique (ALD) et CVD renforcé par plasma (PECVD). Le vecteur utilise un chauffe-substrat en boucle fermée et contrôlé par résonance pour assurer des performances thermiques très uniformes sur tout le substrat lors du dépôt. Le Vector est équipé d'une plaque de distribution de gaz programmable qui permet une flexibilité ultime, assurant une livraison précise et précise des gaz réactifs. Sa plaque de distribution de gaz intègre des soupapes de commutation de gaz, conçues pour évacuer rapidement les gaz réactifs usés et les remplacer par des gaz réactifs frais au besoin, réduisant ainsi l'efflux de gaz usés et améliorant les rendements des procédés. De plus, le Vector dispose de systèmes d'injection automatisés configurables et d'émetteurs de filaments chauds, permettant un contrôle complexe des espèces réactives présentes dans la chambre de dépôt - ce qui permet un meilleur contrôle du processus de dépôt. Le Vector est également conçu pour des températures ultra-élevées, permettant des applications à haute performance telles que le dépôt chimique en phase vapeur métallique (MOCVD) et le dépôt chimique en phase vapeur organique (OCVD). Sa conception de creuset creux creux en boucle fermée crée un environnement unique de mélange et de transfert chimique, permettant un meilleur contrôle de la réactivité et une meilleure surveillance et un meilleur contrôle des processus. Le Vector dispose également d'un système de régulation de température avancé pour assurer un contrôle de température très précis et une uniformité au sein de la chambre de dépôt. Son système propriétaire de gestion thermique comprend de multiples couches d'isolation thermique entre les zones chaudes et ses parties internes, assurant une répartition égale de la température sur toute la surface du substrat. Ce système de gestion thermique avancé, associé au matériel performant du Vector, offre une répétabilité et une uniformité exceptionnelles dans tous les processus de dépôt. CONCEPT 3 Vector est un excellent outil pour les applications CVD, offrant un contrôle de température, une uniformité et une répétabilité très précises. Il est bien adapté aux procédés complexes tels que MOCVD et OCVD, permettant des performances thermiques supérieures et une large gamme de gaz réactifs.