Occasion NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9281484 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector est un équipement de réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) monobloc conçu pour les procédés avancés de dépôt des métaux. Il présente une conception à trois zones comprenant une chambre de préchauffage, une chambre de dépôt et une zone de refroidissement. La chambre de préchauffage est capable de ramper à des températures de 450 ° C avec peu de bande chaude, permettant le préconditionnement d'une variété de surfaces de plaquettes. La chambre de dépôt présente une configuration unique en plaques parallèles avec deux chambres à plasma fonctionnant indépendamment, permettant un contrôle à basse température des gaz sources et une meilleure uniformité des dépôts. La zone de refroidissement permet un refroidissement rapide des plaquettes et comprend un port QC automatisé pour l'analyse rapide des plaquettes. CONCEPT 3 Vector est conçu avec un débit élevé à l'esprit, et son système de traitement des plaquettes MOVe GAP est optimisé pour un traitement rapide des plaquettes. Il est livré avec un certain nombre de caractéristiques qui aident à améliorer l'uniformité, minimiser l'espacement des plaquettes, et minimiser la contrainte sur les plaquettes. En outre, Vector est équipé d'une gamme d'outils de pulvérisation et de traitement électrochimique, tels qu'un carrousel de pulvérisation incliné, un socle tournant pour une homogénéité accrue des plaquettes traversantes, et une unité de basculement du carrousel pour une uniformité optimale de station à station. La machine est également conçue avec des fonctionnalités telles que des tasses de confinement de film pour réduire la contamination métallique et un outil d'interception automatisé pour l'optimisation des processus. Le contrôle des processus de Vector est activé par le logiciel propriétaire NOVELLUS SenPlace™, une plate-forme qui utilise des techniques avancées de surveillance, de contrôle et d'optimisation des processus. SenPlace permet aux utilisateurs de surveiller une variété de paramètres de processus en temps réel, d'ajuster les recettes de processus à la volée et d'assurer l'uniformité sur la surface de la plaquette. Il offre également une variété d'alarmes et de dispositifs de sécurité pour s'assurer que les processus sont effectués sans résultats inattendus. Dans l'ensemble, NOVELLUS CONCEPT 3 Vector est un actif avancé et polyvalent de dépôt monobloc conçu en tenant compte du débit et de l'uniformité. Il convient à une variété de procédés de dépôt, y compris le CVD à basse température, le nitrure d'aluminium, le nitrure de titane et le tungstène.