Occasion NOVELLUS CONCEPT 3 #162059 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT 3 est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de pointe conçu pour la production industrielle à haut volume de plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour obtenir une homogénéité de processus supérieure et une qualité de dispositif, qui sont essentiels pour produire des circuits intégrés fiables. CONCEPT 3 dispose d'un design à trois chambres. La chambre supérieure utilise un plateau en quartz et des entrées de gaz de source situées dans les parois pour créer l'environnement nécessaire à la diffusion et au dépôt de couches successives de film sur le substrat. La chambre médiane assure le contrôle de température nécessaire pour maintenir la réaction des espèces réactionnelles volatiles produites dans la chambre supérieure. La chambre inférieure est une zone de transfert qui transporte des plaquettes entre les chambres selon les besoins. Les trois chambres assurent le dépôt simultané de couches minces de haute qualité sur plusieurs plaquettes. Les électrodes du réacteur sont positionnées à proximité du substrat, ce qui permet une excellente homogénéité. Cette disposition permet également de chauffer ou de refroidir le substrat de manière indépendante et précise en utilisant des sources d'énergie RF commandées en fréquence. Cette caractéristique permet un contrôle précis de l'épaisseur, de la composition et de la stabilité thermique de chaque plaquette. NOVELLUS CONCEPT 3 utilise des fonctionnalités de sécurité et d'automatisation de pointe. L'utilisation de l'interface homme-machine permet une optimisation maximale des paramètres et une surveillance à distance de l'état des processus. En outre, le logiciel est conçu pour la production de volumes élevés, la collecte de données et l'établissement de rapports. CONCEPT 3 est un choix idéal pour les entreprises à la recherche d'un réacteur CVD haute performance. Sa conception unique et ses fonctionnalités avancées en font un excellent choix pour produire des circuits intégrés fiables et de haute qualité de manière efficace et rentable.