Occasion NOVELLUS CONCEPT One-150 #293758274 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One-150 est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à plasma moyen destiné à l'industrie des semi-conducteurs. Le réacteur dispose d'une conception avancée et d'une construction robuste pour permettre des résultats de processus de haute performance. Le One-150 est vraiment une plate-forme universelle pour les applications de dépôt, utilisant des fonctionnalités de conception avancées et des contrôles de processus intelligents pour soutenir un large éventail de chimies de processus avec une haute sélectivité. Le réacteur est équipé d'une source d'énergie haute fréquence de 1300 W, d'un système de vide capable d'atteindre des pressions inférieures à 40 mTorr et d'un collecteur de gaz NOVELLUS ALC pouvant traiter jusqu'à 10 gaz. Il dispose également d'un nombre impressionnant de capteurs de processus (température, pression et température des plaquettes) et de boucles de rétroaction pour permettre un contrôle fin des paramètres de processus. Le One-150 est également équipé d'un régulateur de température de zone, d'une capacité de mandrin électrostatique impressionnante et d'un ensemble de pompes équipé de cryopump qui donne à l'unité CVD une fenêtre de processus maximale. Le réacteur présente une configuration flexible en quatre zones, les deux zones centrales de traitement contrôlant les températures. Cette approche est conçue pour assurer un contrôle précis des processus, permettant d'obtenir des résultats exigeants. Les zones sont toutes optimisées pour un traitement CVD à haute productivité, avec des consignes de température précises, des temps de refroidissement, des températures cibles et un contrôle précis du taux de dépôt. Le One-150 est également équipé d'un logiciel de contrôle de processus avancé. Cela garantit une épaisseur de film conforme précise sur l'ensemble de la plaquette, avec des propriétés de film très uniformes et une excellente uniformité dans les tolérances fixées par le client. Le logiciel a un contrôle sophistiqué des paramètres et peut optimiser les conditions de processus pour une variété de chimies de processus. Il comprend également une base de données complète de recettes de processus, contribuant à assurer la répétabilité grâce à un processus contrôlé et reproductible. En conclusion, NOVELLUS CONCEPT ONE 150 est une machine CVD puissante, conçue pour répondre aux besoins exigeants de l'industrie des semi-conducteurs. Grâce à sa conception avancée et à sa construction robuste, il prend en charge une large gamme de produits chimiques pour obtenir des résultats de processus performants. Son logiciel sophistiqué de contrôle des processus permet un dépôt précis de film conforme avec une excellente uniformité sur l'ensemble de la plaquette. En tout, le One-150 est une machine fiable et hautement capable qui est sûr de devenir un atout précieux dans toute installation de traitement de semi-conducteurs.