Occasion NOVELLUS CONCEPT One-150 #293807073 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One-150 est un outil de dépôt chimique en phase vapeur à chambre unique (CVD) développé et fabriqué par NOVELLUS Systems Inc. C'est un outil hautement automatisé qui permet le dépôt de couches minces de manière contrôlée et uniforme. NOVELLUS CONCEPT ONE 150 dispose d'une chambre de réaction rectangulaire d'un volume fixe de 150 centimètres cubes (cc). La chambre est également isolée pour maintenir la stabilité thermique. L'outil comprend également une injection intégrée de gaz inerte et de vapeur chimique, ainsi que des mesures de pression in situ. Cela permet de contrôler avec précision les paramètres du processus de dépôt tels que la pression, la température et les concentrations de réactifs. Pour que la chambre soit chauffée et refroidie, la machine est équipée d'un chauffe-résistance électrique au quartz et d'un bloc de transfert de chaleur à l'azote liquide. La machine est encastrée dans un régulateur de température multi-zones avancé, qui permet un chauffage et un refroidissement indépendants, ainsi qu'un contrôle de température rapproché. CONCEPT ONE - 150 est un système CVD de référence qui est contrôlé par une unité centrale programmable (CPU). Il est capable de plusieurs applications préprogrammées, telles que le dépôt chimique en phase vapeur, le traitement thermique et le cyclage. Le réacteur permet le dépôt de diverses couches minces, y compris du silicium polycristallin fluoré et du nitrure de silicium. Il est également utilisé pour enrober des plaquettes avec de petites particules de métaux, alliages, diélectriques et isolants. NOVELLUS CONCEPT ONE - 150 a la capacité de maintenir une faible dérive de processus et d'exécuter de longues séries ce qui le rend bien adapté à la production de masse. Il a été conçu pour un entretien minimal et un temps de disponibilité élevé afin de réduire les coûts d'exploitation. L'outil est très fiable et simple à utiliser et à ajuster, avec une plate-forme de dépôt très robuste et répétable.